[实用新型]一种真空排气工作台面装置

权利要求书

1.一种真空排气工作台面装置，包括隔热垫（3）、真空排气工作台面（4）、锁紧螺母（5）、尾管座（6）、排气总管（7），真空排气工作台面设置有排孔，其特征在于：隔热垫放置在真空排气工作台面（4）排孔上面，尾管座（6）下端与排气总管（7）相连，锁紧螺母（5）与尾管座（6）之间是螺纹连接，在锁紧螺母（5）与尾管座（6）顶端之间有密封圈。

2.根据权利要求1所述真空排气工作台面装置，其特征是：把真空排气工作台面（4）设置的排孔的孔径扩大至大于锁紧螺母（5）的外径，并把锁紧螺母（5）和尾管座（6）长度伸长50-70mm，使锁紧螺母和尾管座伸入真空排气工作台面的排孔内。

3.根据权利要求1或权利要求2任一项所述真空排气工作台面装置，其特征是：所述的排孔在真空排气工作台面成两排排列，数量共计为30-60个，排孔为圆形或者方形的通孔。

4.根据权利要求1或权利要求2任一项所述真空排气工作台面装置，其特征是：所述的真空排气工作台面形状为圆弧形，其左视图为阶台状，两端台板厚度为2-20mm，中间阶台高度为50-70mm，其上下有岩棉或石棉材料的保温棉夹层。