[实用新型]双排二十工位手动制绒与清洗设备有效
申请号: | 201120302451.2 | 申请日: | 2011-08-19 |
公开(公告)号: | CN202183408U | 公开(公告)日: | 2012-04-04 |
发明(设计)人: | 马跃;史大建;周晓东;金佳源;沈专 | 申请(专利权)人: | 韩华新能源(启东)有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 南通市永通专利事务所 32100 | 代理人: | 葛雷 |
地址: | 226200 江苏省南*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 双排二十工位 手动 清洗 设备 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种太阳能光伏产业技术领域的设备,具体是一种晶体硅太阳能电池工艺中的研发用制绒与清洗设备。
背景技术
太阳能电池生产工艺流程中,有很多因素都会降低光电转换效率;如由于表面的反射而没有进入电池片内的可以产生电子空穴对的光带来的光损失,整个工艺流程中的太阳能电池片的表面洁净度,酸洗及二次清洗的质量等都会降低太阳能电池片的转换效率。而高效率太阳能电池工艺中,硅墨印刷前清洗、扩散前清洗等工艺流程中的效果和洁净度都直接关系到选择性发射极性能,从而影响太阳能电池片的转化效率。
光伏工艺中为了减少光损失,采用制绒对单晶太阳能电池片表面进行各向同性腐蚀,形成倒金字塔微结构来减少表面反射,提升光的利用率,所以制绒是太阳能工艺中非常重要的一个流程。而为了提高选择性发射极性能、从而提高电池片的转换效率,高效率太阳能电池工艺中对整个流程中的洁净度、特别是对避免金属杂质污染有很高的要求。
传统的制绒、扩散前清洗、或二次清洗等设备达不到晶体硅高效率太阳能电池工艺研发对制绒质量及洁净度的要求,而且会带来金属离子污染及含有潜在的污染源,降低了太阳能电池片的洁净度,从而降低了电池片的光电转换效率;制绒与酸洗、腐蚀等不在一个设备中,对研发带来了不便,同时增加了二次污染。
发明内容
本实用新型的目的在于提供一种结构合理,能够满足高效率太阳能电池研发对制绒质量和工艺流程中洁净度的要求的双排二十工位手动制绒与清洗设备。
本实用新型的技术解决方案是:
一种双排二十工位手动制绒与清洗设备,其特征是:包括固定在机架上的三个分体,第一个分体包括各自独立装于机架上的二个碱性制绒槽、二个酸洗槽及二个去离子水清洗槽,第二个分体包括各自独立装于机架上的三个去金属离子清洗槽、三个酸洗槽及二个去离子水清洗槽,第三个分体包括各自独立装于机架上的二个酸性制绒槽、一个碱性槽、一个酸洗清洗槽及二个去离子水清洗槽;三个分体间设置间隔,各槽均为非金属槽体;每个分体中的槽均呈双排设置形式。
各去离子水清洗槽的进水和出水口均安装有电阻率量表。
第三个分体中的酸性制绒槽为硝酸制绒槽,硝酸制绒槽的槽体和与制冷机组连接的交换副槽连接。
各槽中设有容积标尺。
本实用新型结构合理,能够满足高效率太阳能电池研发对制绒质量和工艺流程中洁净度的要求,尽量避免金属离子污染及减少潜在污染源,提高晶体硅制绒质量,从而提高太阳能电池光电转换效率,并能满足多种研发需求。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。
图1是本实用新型一个实施例的结构示意图。
具体实施方式
一种双排二十工位手动制绒与清洗设备,包括固定在机架上的三个分体,第一个分体包括各自独立装于机架上的二个碱性制绒槽(氢氧化钾制绒槽)2、6、二个酸洗槽(盐酸槽)1、5及二个去离子水清洗槽3、4,第二个分体包括各自独立装于机架上的三个去金属离子清洗槽8、10、14(分别为一号液槽8、二号液槽10及浓硫酸槽14)、三个酸洗槽(氢氟酸槽)7、9、13及二个去离子水清洗槽11、12,第三个分体包括各自独立装于机架上的二个酸性制绒槽(硝酸制绒槽)16、20、一个碱性槽(5%氢氧化钾槽)15、一个酸洗清洗槽(氢氟酸槽)19及二个去离子水清洗槽17、18;三个分体间设置间隔,各槽均为非金属槽体,如实需金属材质,外包覆非金属材质(如特氟龙等)处理;每个分体中的槽均呈双排设置形式。
各去离子水清洗槽的进水和出水口均安装有电阻率量表,出水测试电阻率正常后自动停止进水;每组去离子水清洗槽(双排)安装三个去离子水电阻率量程为10KΩ~10MΩ的电阻率量表。
第三个分体中的酸性制绒槽为硝酸制绒槽,硝酸制绒槽的槽体和与制冷机组连接的交换副槽连接。
各槽中设有容积标尺。
单个KOH 槽及HNO3槽的单槽尺寸为300 × 300×300mm,其它槽体的单槽尺寸为250 × 250×300mm。
所有去离子水清洗槽具有快排和两极溢流两种功能,回水设计,去掉传统副槽,以提高去离子水的洁净度;去离子水清洗槽最大的溢流速率可达到10~15LPM,为了达到且稳定溢流速率,设备上水安装增压泵。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于韩华新能源(启东)有限公司,未经韩华新能源(启东)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201120302451.2/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种短波天线程式交换开关
- 下一篇:具有散热底座的接线盒
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的