[实用新型]一种搬运车

说明书

技术领域

本实用新型涉及机械领域，特别涉及一种搬运车。

背景技术

在半导体制造，尤其是液晶面板生产领域，Array(阵列)工序-Photo(成像)工艺的曝光这一步骤需要采用掩模板(mask)对基板进行曝光。基板较大，面积可能是掩模板的几倍，所以每次曝光都需对掩模板在基板上进行几次扫描。如果掩模板上有Particle(微粒)，那么每次扫描在基板上都会形成defect(瑕疵)，从而造成Repeat Defect(重复性不良)。而这种重复性不良在成像时进行的自动光学检测(AOI)中往往不能被发现，直到对阵列进行电学测试时才能发现，但此时会给生产造成较大损失。

目前在生产制造时，在掩模板用于生产曝光前首先人工用Air gun(空气枪)对其进行清洁。由于掩模板除了曝光时裸露在紫外线下，平时都是装在cassette(盒子)里，盒子由上盖和托盘组成，在清洁时需打开盒子的上盖，并尽量在最短的时间内用空气枪对掩模板进行清洁，然后盖上盒子的上盖。而以上的操作都是在用人力搬运车将装有掩模板的盒子从曝光设备中取出后进行的。

现有技术中已有的一种手推搬运车，通过液压缸配合各机构部件，使手推搬运车的搁物架可进行升降，既能使其快速上升，又能控制其下降速度，当装卸地点高于搁物架时，能方便地控制搁物架的高度与装卸地点等高，再进行装卸，减少了向上搬和向下搬的劳动，从而减轻劳动强度，节省人力和时间。但目前的手动搬运车一次只能搬运一个掩模板，如需清洁多个掩模板还需进行多次搬运，不仅占用空间、时间，而且浪费人力。

实用新型内容

本实用新型实施例提供一种搬运车，解决了同一搬运车不能同时搬运多个掩模板的问题。

一种搬运车，包括底板，还包括：与底板相对固定的至少一个支撑架，每个支撑架上连接有至少两个第一搁物台。

本实用新型实施例中搬运车包括底板，还包括：与底板相对固定的至少一个支撑架，每个支撑架上连接有至少两个第一搁物台。本实用新型实施例通过使支撑架支撑多个第一搁物台，从而可以通过一个搬运车运载多个掩模板。

附图说明

图1为本实用新型实施例中搬运车的详细结构图；

图2为本实用新型实施例中支撑体的俯视图；

图3为本实用新型实施例中吸盘的仰视图；

图4为本实用新型实施例中吸盘的侧视图。

具体实施方式

本实用新型实施例中搬运车包括底板和与底板相对固定的至少一个支撑架，每个支撑架上连接有至少两个第一搁物台。本实用新型实施例通过使支撑架支撑多个第一搁物台，从而可以通过一个搬运车运载多个物品，以下以物品为盛放掩模板的盒子为例进行详细说明。

参见图1，为本实用新型实施例中搬运车的剖面图，其以一个支撑架101为例进行说明。本实用新型实施例中搬运车包括底板，还包括与底板相对固定的至少一个支撑架101，每个支撑架101上连接有至少两个第一搁物台102。本实用新型实施例中搬运车还包括第一连接块103、支撑体104、滑块105、充气气囊106、喷嘴107、吸盘108、第一撑块109、第二撑块110、螺栓111、充气机112、承重气囊113、上升手柄114、下降螺栓115。其中，图1中还画出了一个放置在第一搁物台102上的放置有掩模板118的盒子，其中该盒子具有托台116和上盖117，该盒子中放有待搬运的掩模板118。该盒子和掩模板118不属于本实用新型实施例中的搬运车，只是该搬运车可运载的货物的一种。其中，本实用新型实施例中的搬运车可以是手推搬运车。其中，图1中只对位于支撑架101最上部的第一搁物台102及其相应部件做出了标注，其余两个第一搁物台102均与其相同，未一一标注。

支撑架101用于支撑第一搁物台102。本实用新型实施例中，支撑架101的外壁可以带有螺纹，便于固定中空且带有相应内螺纹的部件。一个所述搬运车至少包括一个支撑架101。当所述搬运车包括两个或更多支撑架101时，支撑架101之间可以通过横杆相连。较佳的，所述搬运车包括两个支撑架101。当所述搬运车包括两个支撑架101时，每个支撑架101上所支撑的第一搁物台102的数目可以相等，且空间位置分别对应。