[实用新型]一种多点进料的多晶硅还原炉

权利要求书

1.一种多点进料的多晶硅还原炉，包括底座（1）和设置在底座（1）上的钟罩（2），底座（1）的上方设置有电极（3），每个电极（3）上都安装有一个粗硅芯载体（4），底座（1）下方设有进料管（5）和尾气排出管（6），其特征在于：所述的电极（3）呈圆周型排列，电极（3）排列成同心异径的内电极圈和外电极圈，所述的尾气排出管（6）设置在底座（1）中心位置的下部，其管口设置在钟罩（2）内，进料管（5）穿过尾气排出管（6）连通钟罩（2），进料管（5）的上端螺纹连接有一个分配器，分配器包括一个中心喷嘴（7）和以中心喷嘴（7）为圆心圆周排列的外喷嘴（9），外喷嘴（9）通过管道连杆（8）连接中心喷嘴（7），外喷嘴（9）位于内电极圈和外电极圈之间。

2.根据权利要求1所述的一种多点进料的多晶硅还原炉，其特征在于：所述的进料管（5）的管口的高度高于尾气排出管（6）的管口的高度。

3.根据权利要求1所述的一种多点进料的多晶硅还原炉，其特征在于：所述的内电极圈上的电极（3）呈等间距排列。

4.根据权利要求1所述的一种多点进料的多晶硅还原炉，其特征在于：所述的外电极圈上的电极（3）呈等间距排列。

5.根据权利要求1所述的一种多点进料的多晶硅还原炉，其特征在于：所述的外喷嘴（9）在圆周上呈等间距排列。

6.根据权利要求1所述的一种多点进料的多晶硅还原炉，其特征在于：所述的中心喷嘴（7）和外喷嘴（9）的喷口方向为正对向上。