[实用新型]单晶硅生长炉及其加料装置有效
申请号: | 201120312682.1 | 申请日: | 2011-08-25 |
公开(公告)号: | CN202323104U | 公开(公告)日: | 2012-07-11 |
发明(设计)人: | 胡动力;刘海;董一迪;付家云 | 申请(专利权)人: | 江西赛维LDK太阳能高科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/02 | 分类号: | C30B15/02;C30B29/06 |
代理公司: | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝传鑫;熊永强 |
地址: | 338000 江西省新余*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 单晶硅 生长 及其 加料 装置 | ||
1.一种单晶硅生长炉的加料装置,包括料筒,其特征在于:所述料筒呈上端细下端粗的锥台状,且所述料筒为组合式结构,其由至少两片筒瓣组合,并经弹性抱箍捆扎而成。
2.如权利要求1所述的加料装置,其特征在于:所述弹性抱箍由钼丝螺旋绕制并沿轴向延伸而成。
3.如权利要求1所述的加料装置,其特征在于:在所述筒瓣上沿料筒的周向设置有多个小孔,所述弹性抱箍由螺栓或螺钉固定在所述小孔处,阻止所述弹性抱箍轴向滑动。
4.如权利要求3所述的加料装置,其特征在于:所述螺栓或螺钉上穿设有一压片,所述压片包括弧形部,所述弧形部将所述弹性抱箍压紧在所述筒瓣上。
5.一种单晶硅生长炉,包括坩埚,其特征在于:在所述坩埚上方设置有加料装置,所述加料装置包括料筒,所述料筒呈上细下粗的锥台状,且所述料筒为组合式结构,其由至少两片筒瓣组合,并经弹性抱箍捆扎而成。
6.如权利要求5所述的单晶硅生长炉,其特征在于:所述弹性抱箍由钼丝螺旋绕制并沿轴向延伸而成。
7.如权利要求5所述的单晶硅生长炉,其特征在于:在所述筒瓣上沿料筒的周向设置有多个小孔,所述弹性抱箍由螺栓或螺钉固定在所述小孔处,阻止所述弹性抱箍轴向滑动。
8.如权利要求7所述的单晶硅生长炉,其特征在于:所述螺栓或螺钉上穿设有一压片,所述压片包括弧形部,所述弧形部将所述弹性抱箍压紧在所述筒瓣上。
9.如权利要求5所述的单晶硅生长炉,其特征在于:所述加料装置还包括悬挂提拉结构,所述悬挂提拉结构包括多根钼丝,所述多根钼丝的一端分别固定于所述料筒上端,另一端形成一连接器;所述单晶硅生长炉包括用于提拉籽晶夹持器的籽晶绳,所述连接器与所述籽晶绳连接,并由所述籽晶绳带动所述料筒升降。
10.如权利要求5所述的单晶硅生长炉,其特征在于:所述坩埚上设置有一导流筒,所述导流筒中间具有一通孔,所述料筒的下端穿过所述通孔伸入到所述坩埚内。
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