[实用新型]等离子平板显示屏的氧化镁保护膜蒸镀载具及支撑载具有效
申请号: | 201120314456.7 | 申请日: | 2011-08-24 |
公开(公告)号: | CN202187054U | 公开(公告)日: | 2012-04-11 |
发明(设计)人: | 周志锋 | 申请(专利权)人: | 安徽鑫昊等离子显示器件有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/50;C23C14/08;H01J9/20 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 逯长明 |
地址: | 230011*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 等离子 平板 显示屏 氧化镁 保护膜 蒸镀载具 支撑 | ||
技术领域
本实用新型涉及等离子显示屏技术领域,更具体地说,涉及等离子平板显示屏的氧化镁保护膜蒸镀载具及支撑载具。
背景技术
等离子平板显示屏是一种利用气体放电的显示装置,具有高亮度、高对比度、厚度薄、质量轻、大平面、宽视角、响应快、防电磁干扰等优点。在等离子平板显示屏的制造过程中,氧化镁保护膜蒸镀是其中一个非常关键的工艺。氧化镁保护膜的主要作用是保护等离子平板显示屏的前介质、提供二次电子、降低着火电压。
在氧化镁保护膜蒸镀工艺中,蒸镀载具用来搬运、支撑待蒸镀的玻璃基板。蒸镀载具主要由移动载具和支撑载具组成。请参考附图1-3,支撑载具包括支撑主体01、支撑块02和弹性支撑条03,支撑载具通过支撑主体01上的定位孔与移动载具相配合。
在蒸镀的过程中,玻璃基板04通过机械手放到支撑载具上时本来就会受到一定的机械冲击,而现有的支撑载具的各个支撑块02高度很难达到一致,进一步增大了玻璃基板04放到支撑载具上所受到的机械冲击,导致玻璃基板04有微裂纹、内应力,在蒸镀的过程中玻璃基板04由此破裂的概率很大,影响生产的进行。同时,由于各个支撑块02的高度不一,会导致放置在其上的玻璃基板04翘曲、表面不平整,导致蒸镀时玻璃基板04到蒸发源的高度不同,导致氧化镁保护膜的成膜速率和膜厚相差较大,产生的废品率高。
综上所述,如何提供一种等离子平板显示屏的氧化镁保护膜蒸镀用支撑载具,以实现各个支撑块的高度一致,进而降低蒸镀过程中玻璃基板的破裂概率,降低等离子平板显示屏的废品率,是目前本领域技术人员亟待解决的问题。
实用新型内容
有鉴于此,本实用新型提供了等离子显示屏的氧化镁保护膜蒸镀装置,实现了支撑载具上的各个支撑块的高度一致,进而降低了蒸镀过程中玻璃基板的破裂概率,同时降低了等离子平板显示屏的废品率。
为了达到上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
一种等离子平板显示屏的氧化镁保护膜蒸镀支撑载具,包括支撑主体和设置在所述支撑主体上的多个支撑块;每个所述支撑块均包括:
与所述支撑主体相连的支撑底座,其上设置有支撑杆;
设置有与所述支撑杆相配合的孔的支撑头;
与所述支撑头相连,实现所述支撑头沿所述支撑杆伸缩的伸缩弹簧。
优选的,上述等离子平板显示屏的氧化镁保护膜蒸镀支撑载具中,所述伸缩弹簧设置在所述支撑头的底面与所述支撑底座的表面之间。
优选的,上述等离子平板显示屏的氧化镁保护膜蒸镀支撑载具中,所述伸缩弹簧套设在所述支撑杆上。
优选的,上述等离子平板显示屏的氧化镁保护膜蒸镀支撑载具中,所述孔为阶梯孔,所述伸缩弹簧套设在所述支撑杆上,且位于所述阶梯孔的台阶面和所述支撑底座之间。
优选的,上述等离子平板显示屏的氧化镁保护膜蒸镀支撑载具中,所述孔为盲孔,所述伸缩弹簧设置在所述孔的底面与所述支撑杆的顶端端面之间。
优选的,上述等离子平板显示屏的氧化镁保护膜蒸镀支撑载具中,所述支撑底座滑动地设置在所述支撑主体上。
优选的,上述等离子平板显示屏的氧化镁保护膜蒸镀支撑载具中,所述支撑主体上设置有条形孔,所述支撑底座通过穿过所述条形孔的螺栓与所述支撑主体相连。
优选的,上述等离子平板显示屏的氧化镁保护膜蒸镀支撑载具中,所述条形孔为腰型孔。
基于上述提供的等离子平板显示屏的氧化镁保护膜蒸镀支撑载具,本实用新型还提供了一种等离子平板显示屏的氧化镁保护膜蒸镀载具,包括支撑载具和与之相连的移动载具,所述支撑载具为上述任意一项所述的等离子平板显示屏的氧化镁保护膜蒸镀支撑载具。
本实用新型提供的等离子平板显示屏的氧化镁保护膜蒸镀支撑载具中,设置在支撑主体上的各个支撑块均包括支撑底座、支撑头和与支撑头相连实现支撑头沿支撑杆伸缩的伸缩弹簧。上述结构使得与玻璃基板接触的支撑块在伸缩弹簧的作用下可以伸缩,当玻璃基板放置到整个支撑载具上时,支撑块受到压力的情况下伸缩进而很容易实现各个支撑块高度达到一致,减小了玻璃基板受到的机械冲击,同时由于伸缩弹簧的伸缩实现了对玻璃基板的缓冲,进一步减小了对玻璃基板的机械冲击,减小了玻璃基板因机械冲击产生的微裂纹、内应力,进而减小了蒸镀过程中玻璃基板的破裂概率。由于上述各个支撑块高度达到一致,避免了玻璃基板的翘曲、表面不平整现象,使得蒸镀时玻璃基板各部分距蒸发源的距离相等,提高了氧化镁保护膜的成膜速率,降低了各部分的膜厚差,进而降低了废品率。
附图说明
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