[实用新型]等离子平板显示器的氧化镁保护膜蒸镀装置有效
| 申请号： | 201120314508.0 | 申请日： | 2011-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN202187055U | 公开（公告）日： | 2012-04-11 |
| 发明（设计）人： | 何文香;周志锋;陈龙豪 | 申请（专利权）人： | 安徽鑫昊等离子显示器件有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/08 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 230011*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 等离子 平板 显示器 氧化镁 保护膜 装置 | ||
1.一种等离子平板显示器的氧化镁保护膜蒸镀装置，包括：
蒸镀室；
设置在所述蒸镀室的底板(12)上的第一转动轴(11)，其上设置有盛放氧化镁靶材(15)的坩埚(13)；和设置在所述氧化镁靶材(15)表面的挡板(14)；其特征在于，还包括与所述挡板(14)相连，且穿过所述蒸镀室的底板(12)上的第二转动轴(18)；
设置在所述蒸镀室的底板(12)上，且位于所述坩埚(13)的边缘收集所述氧化镁靶材(15)的掉渣(16)的收集盒(17)。
2.根据权利要求1所述的等离子平板显示器的氧化镁保护膜蒸镀装置，其特征在于，设置在所述蒸镀室的底板(12)与所述第二转动轴(18)之间的密封件为动密封件。
3.根据权利要求2所述的等离子平板显示器的氧化镁保护膜蒸镀装置，其特征在于，所述动密封件为磁流体密封件(19)。
4.根据权利要求1所述的等离子平板显示器的氧化镁保护膜蒸镀装置，其特征在于，所述收集盒(17)靠近所述坩埚(13)一端的外壁具有与所述坩埚(13)的外表面相适配的弧形面。
5.根据权利要求4所述的等离子平板显示器的氧化镁保护膜蒸镀装置，其特征在于，所述收集盒(17)的底面靠近所述坩埚(13)的一端高于远离所述坩埚(13)的一端。
6.根据权利要求5所述的等离子平板显示器的氧化镁保护膜蒸镀装置，其特征在于，所述收集盒(17)的底面与所述蒸镀室的底板(12)表面之间的夹角为30°～60°。
7.根据权利要求6所述的等离子平板显示器的氧化镁保护膜蒸镀装置，其特征在于，所述收集盒(17)的底面与所述蒸镀室的底板(12)表面之间的夹角为45°。
8.根据权利要求1所述的等离子平板显示器的氧化镁保护膜蒸镀装置，其特征在于，所述收集盒(17)的数量为两个，且分别位于所述第二转动轴(18)的两侧。
9.根据权利要求1-8中任意一项所述的等离子平板显示器的氧化镁保护膜蒸镀装置，其特征在于，所述收集盒(17)为耐高温不锈钢收集盒。
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