[实用新型]用于微光机电系统真空封装的管壳有效
| 申请号： | 201120315652.6 | 申请日： | 2011-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN202246042U | 公开（公告）日： | 2012-05-30 |
| 发明（设计）人： | 高杰 | 申请（专利权）人： | 昆山光微电子有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00 |
| 代理公司： | 昆山四方专利事务所 32212 | 代理人： | 盛建德 |
| 地址： | 215325 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 微光 机电 系统 真空 封装 管壳 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于微光机电系统真空封装的管壳，包括底座(1)、封帽(2)、滤光片(3)和吸气剂固定装置(4)，呈中空筒状结构的底座(1)一端内侧设有环状芯片固定槽，底座圆周外侧壁上设有一圈环状外扩止挡(12)，封帽(2)覆盖于底座(1)一端外侧并与底座上环状外扩止挡(12)密封固连，底座(1)另一端设有与内部空间连通的开口(13)，滤光片(3)密封固定覆盖于该开口(13)外侧端面上，其特征在于：所述封帽(2)轴向端面上设有与底座(1)内部连通的透光窗口(21)，还设有透光片(5)，该透光片(5)密封固定覆盖位于封帽透光窗口(21)外侧端面上，柱状的吸气剂固定装置(4)固定设于封帽(2)和底座(1)之一的内侧壁上。
2.根据权利要求1所述的用于微光机电系统真空封装的管壳，其特征在于：所述底座(1)一端外侧径向外扩形成一圈环状凸台结构(11)。
3.根据权利要求1所述的用于微光机电系统真空封装的管壳，其特征在于：所述透光片(5)为蓝宝石玻璃。
4.根据权利要求1所述的用于微光机电系统真空封装的管壳，其特征在于：所述滤光片(3)为镀有增透膜的锗玻璃。
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