[实用新型]一种MOCVD系统及其中反应气体的排气装置

权利要求书

1.一种MOCVD系统中反应气体的排气装置，其特征在于，所述排气装置包含一环状的排气环（400），其在该MOCVD系统的反应室内环绕设置；

所述排气环（400）设置有若干个内部空槽（412），以容纳冷却液并使冷却液在所述若干个内部空槽（412）内流动；

所述排气环（400）还设置有贯穿该排气环（400）的结构，以使反应区域内的反应气体通过该贯穿结构排出。

2.如权利要求1所述MOCVD系统中反应气体的排气装置，其特征在于，

供反应气体贯穿所述排气环（400）排出的结构，是在所述排气环（400）径向上均匀分布的贯穿的若干排气孔（411），或者是所述排气环（400）上对称分布的贯穿的多个排气槽。

3.如权利要求1所述MOCVD系统中反应气体的排气装置，其特征在于，

所述排气装置还包含至少两个连杆（440），所述连杆（440）与所述排气环（400）分别固定连接；

所述连杆（440）中至少两个连杆设置有供冷却液流通的内部空槽（441），所述内部空槽（441）分别与所述排气环（400）的内部空槽（412）相连通，以使冷却液流入或流出所述排气环（400）的内部空槽（412），实现对排气环（400）的冷却循环；

或者，所述连杆（440）中至少一个连杆设置有供冷却液流通的相互独立的若干个内部空槽，分别与所述排气环（400）的内部空槽（412）相连通，以使冷却液流入或流出所述排气环（400）的内部空槽（412），实现对排气环（400）的冷却循环。

4.如权利要求1所述MOCVD系统中反应气体的排气装置，其特征在于，

在所述排气环（400）上设有凸起的第一环状挡板（421），所述第一环状挡板（421）一端连接在排气环（400）的环壁（413）内侧，另一端朝着排气环（400）径向的中心方向延伸，并与所述MOCVD系统中的托盘（501）相配合，以阻挡反应气体进入所述托盘（501）的下方。

5.如权利要求1或4所述MOCVD系统中反应气体的排气装置，其特征在于，

在所述排气环（400）的底部设有凸起的第二环状挡板（422），所述第二环状挡板（422）一端连接在排气环（400）的环壁（413）内侧；另一端朝着排气环（400）径向的中心方向延伸，并与所述MOCVD系统中的加热器隔离环（503）相配合，以阻挡反应气体进入所述托盘（501）的下方。

6.如权利要求1所述MOCVD系统中反应气体的排气装置，其特征在于，

所述排气装置还包含外环部分（430），其进一步包含环盖（431）和主体（432）；

所述环盖（431）是设置在所述外环部分（430）上部的环状结构，其一端与所述排气环（400）相连接，另一端与纵向布置的所述主体（432）的顶部相连接；以使所述主体（432）以一定的间隔距离环绕在所述排气环（400）的环壁（413）外侧，从而在所述主体（432）与所述排气环（400）之间形成供反应气体流动的间隔空隙。

7.如权利要求6所述MOCVD系统中反应气体的排气装置，其特征在于，

所述外环部分（430）进一步包含环状的底环（433），其一端连接在所述主体（432）底部，另一端与所述排气环（400）的环壁（413）外侧相连接；所述底环（433）上开设有多个均匀分布的排气孔（434）。

8.如权利要求1或3所述MOCVD系统中反应气体的排气装置，其特征在于，

所述排气装置还包含驱动装置，其带动所述排气环（400）在第一位置和第二位置之间上升或下降，其中第一位置高于第二位置；

所述排气环（400）在处于第一位置时，将所述MOCVD系统中反应室与外部连通的通道闭合；

所述排气环（400）在处于第二位置时，将所述MOCVD系统中反应室与外部连通的通道打开。

9.如权利要求8所述MOCVD系统中反应气体的排气装置，其特征在于，

所述驱动装置包含导轨滑块（451），所述导轨滑块（451）与所述连杆（440）的下部固定连接，所述连杆（440）的上部与所述排气环（400）的底部固定连接；所述导轨滑块（451），连杆（440）与排气环（400）一起上升和下降。

10.一种MOCVD系统，其特征在于，包含反应室和排气装置；

所述排气装置包含排气环（400），所述排气环（400）在所述反应室内环绕设置，所述排气环（400）设置有容纳冷却液并使冷却液在其中流通的若干内部空槽（412），以及使反应区域内的反应气体贯穿所述排气环（400）排出的结构；

所述排气装置还包含至少两个与所述排气环（400）相连接的连杆（440），以及驱动所述连杆（440）上下升降并带动所述排气环（400）升降的驱动装置；

其中所述连杆（440）中至少两个连杆设置有供冷却液流通的内部空槽（441），内部空槽（441）分别与所述排气环（400）的内部空槽（412）相连通，以使冷却液流入或流出所述排气环（400）的内部空槽（412），实现对排气环（400）的冷却循环；

或者，所述连杆（440）中至少一个连杆设置有供冷却液流通的相互独立的若干个内部空槽，分别与所述排气环（400）的内部空槽（412）相连通，以使冷却液流入或流出所述排气环（400）的内部空槽（412），实现对排气环（400）的冷却循环；

所述MOCVD系统的反应室设置有与系统外部连通的通道；在进行外延反应时，所述反应室与外部连通的通道由所述排气环（400）闭合。