[实用新型]一种排气装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种排气装置，具体涉及一种半导体业光阻喷涂机台自动排气装置。

背景技术

半导体业内光阻喷涂机台在更换光阻瓶后往往管路中会有空气进入，为了保证光阻喷涂机台的正常工作，因此需将光阻瓶内的空气有效地清除。

传统的排除半导体业内光阻喷涂机台内气泡的方法是手动启闭管路上对应的阀组清除光阻管内的气体；传统的排气方式虽然可以完成排气泡的动作，但由于是人工操作，往往存在着可靠度低、无法彻底的清除光阻瓶内的气体，影响光阻瓶的性能，且排气速度较慢，对光阻浪费严重等弊端，导致工作效率低下，成本增加等问题。

因此，一种排气效率较高，较彻底的排气装置亟待出现。

实用新型内容

为解决现有的排气装置由于是人工操作导致排气不彻底，影响光阻瓶的工作性能，且排气速度较慢，对光阻浪费严重，工作效率低下，成本较高等问题，本实用新型公开了一种排气装置，以达到自动启闭阀门进行排气，提高排气速度，排气彻底，减少对光阻的浪费，提高工作效率，减少排气成本的目的。

本实用新型的技术方案如下：

一种排气装置，应用于设有光阻瓶的半导体业光组喷涂机上，所述排气装置包括分别与所述光阻瓶相连通的进气管与出气管，所述出气管深入所述光阻瓶的底部，所述进气管高出所述出气管设置，所述进气管上还设置有进气阀；还包括控制所述进气阀启闭的控制装置；

所述控制装置包括plc控制器、与所述进气阀电连接的电磁阀组、以及设置于所述出气管上的用于检测所述出气管内气体的传感器，所述传感器、电磁阀组分别与所述plc控制器电连接。

优选的，所述出气管尾端还连接有液气分离装置，所述液气分离装置上还连接有排气管，所述排气管高出所述出气管设置。

优选的，所述排气管上设置有排气阀，所述排气阀与所述电磁阀组电连接。

优选的，所述排气管的尾端还设置有气体消音器。

优选的，所述液气分离装置的尾端还设置有排水管。

优选的，所述控制装置还包括报警装置。

优选的，所述报警装置为声光报警器或蜂鸣报警器。

本实用新型公开的排气装置，应用于设有光阻瓶的半导体业光组喷涂机上，所述排气装置包括分别与所述光阻瓶相连通的进气管与出气管，所述出气管深入所述光阻瓶的底部，所述进气管高出所述出气管设置，所述进气管上还设置有进气阀；还包括控制所述进气阀启闭的控制装置，所述控制装置包括plc控制器、与所述进气阀电连接的电磁阀组、以及设置于所述出气管上的用于检测所述出气管内气体的传感器。通过传感器检测出气管内是否存在气泡，并将信号传递给plc控制器，plc控制器通过控制电磁阀组对进气阀进行通断，保证光阻瓶中的气体能够彻底的排出，且排气速度较快，排气效率较高，减少光阻的浪费，成本较低。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例技术中的技术方案，下面将对实施例技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型公开的一种排气装置的结构示意图；

图2为本实用新型公开的一种排气装置中控制装置的结构示意图。

图中的数字或字母所代表的相应部件的名称：

11、光阻瓶  12、进气管  13、出气管  14、进气阀  15、排气管  16、排气阀  17、传感器  18、液气分离装置  19、消音器  20、储气罐  21、排水管  22、电磁阀组。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型公开了一种排气装置，以达到自动启闭阀门进行排气，提高排气速度，排气彻底，减少对光阻的浪费，提高工作效率，减少排气成本的目的。