[实用新型]悬臂石英炉有效
| 申请号： | 201120322988.5 | 申请日： | 2011-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN202221232U | 公开（公告）日： | 2012-05-16 |
| 发明（设计）人： | 刘波;温晓鑫 | 申请（专利权）人： | 深圳深爱半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | F27B17/00 | 分类号： | F27B17/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 吴平 |
| 地址： | 518118 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 悬臂 石英 | ||
【权利要求书】：
1.一种悬臂石英炉，其特征在于，包括炉管和炉帽，所述炉帽与所述炉管的管口套接在一起，所述管口和所述炉帽的接触面均为磨砂面，所述炉帽侧壁上开设有炉嘴，所述炉帽通过所述炉嘴与外界连通。
2.如权利要求1所述的悬臂石英炉，其特征在于，所述管口为圆台形，所述炉帽与所述管口适配。
3.如权利要求2所述的悬臂石英炉，其特征在于，所述管口的远离开口端向外凸起。
4.如权利要求1～3所述的悬臂石英炉，其特征在于，所述炉帽套设在所述管口的外侧。
5.如权利要求1～3所述的悬臂石英炉，其特征在于，所述炉帽收容在所述管口的内侧。
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