[实用新型]多线切割工件连接板结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体加工多线切割配套工件连接板结构，尤其是可延长连接板、连接螺栓使用寿命的工件连接板结构。

背景技术

多线切割技术加工半导体硅片是目前硅片加工普遍采用的技术。硅锭进行切割，需要选用配套工装连接成工件体，用螺栓将连接板与固定工件体的燕尾座连接（见图1），挂机并锁紧进行切割。半导体硅晶硬度高，约为莫氏硬度7.0，切割工艺上是选用比硅晶体硬度高的绿碳化硅微粉磨（刃）料，与切割液调和成浆料，喷洒在钢线（线网）上，在钢线（线网）高速运动带动附着在钢丝上的切割刃料对工件（硅锭、硅棒）进行重复摩擦，实现工件（硅片）的切割。

工件连接板在工件（硅片）切割使用过程中，设置于燕尾座上连接连接板的螺栓容易打滑，拧不开或锁不紧的问题，导致连接板及螺栓使用寿命远远小于设计寿命。螺栓锁不紧，容易导致切割片整组硅片表面有明显线痕和整组硅片表面严重翘曲的情况而造成产品报废。

发明内容

存在螺栓打滑拧不开或锁不紧的问题以及螺栓和连接板使用寿命短的原因，主要是莫氏硬度为9.2的绿碳化硅微粉磨（刃）料的硬度高，与钢材基体的连接螺栓和连接板硬度比较，绿碳化硅微粉磨（刃）料太硬，切割中绿碳化硅微粉浆料溅射到螺栓孔内，工件每次切割完了拆卸时，螺栓及螺孔和螺栓孔内的绿碳化硅微粉浆料发生摩擦导致螺栓、连接板受损，几次装、卸就可严重损害螺栓及连接板上的螺孔，从而导致螺栓打滑拧不开或锁不紧以及连接螺栓和连接板使用寿命短的问题。

本实用新型为解决现有技术在使用中存在的螺栓打滑、工件连接板及螺栓过早损坏的问题，提供一种延长工件连接板及螺栓寿命的多线切割工件连接板结构。

本实用新型解决现有问题的技术方案是：多线切割工件连接板结构，包括粘接工件的工件连接板、连接工件连接板的燕尾座，所述的燕尾座上相应位置设有螺栓孔，工件连接板对应位置设有与螺栓孔内螺栓配合的螺孔，作为本实用新型的改进，所述的燕尾座螺栓孔上部设有防尘盖。

作为本实用新型的进一步改进，所述的防尘盖覆盖于螺栓孔，防尘盖上端面与燕尾座螺栓孔上端面相持平或大致相持平。上述的防尘盖为与螺栓孔配合的弹性防尘盖。上述的多个防尘盖之间设有软体串接带。

作为本实用新型的进一步改进，所述的燕尾座上设有覆盖相应位置螺栓孔的槽体，所述的槽体至少一端贯穿燕尾座端面，所述的防尘盖为板状，滑动设置于滑槽内。

作为本实用新型的进一步改进，所述的槽体为燕尾槽，所述的燕尾槽至少一端贯穿燕尾座端面，所述的板状防尘盖为与燕尾槽配合的燕尾板。

本实用新型与现有技术相比较，其有益效果是通过螺栓孔设置防尘盖，避免在生产加工中绿碳化硅微粉浆料溅射到螺栓孔，避免螺栓与绿碳化硅微粉浆料接触产生摩擦，过早损坏螺栓及工件连接板。本实用新型产品结构简单，操作方便，低价实用。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是本实施案例的另一种结构示意图。

具体实施方式

参见图1，本实施案例包括粘接工件5的工件连接板1、连接工件连接板1的燕尾座2，燕尾座2两侧的水平面上相应位置设有螺栓孔3，工件连接板1对应位置设有与螺栓孔3内螺栓4配合的螺孔，燕尾座2螺栓孔3上部设有防尘盖21。

防尘盖21覆盖于螺栓孔3，防尘盖21上端面与燕尾座2螺栓孔3上端面相持平或大致相持平。为了便于安装拆卸，防尘盖21为与螺栓孔3配合的弹性防尘盖。作为优选多个防尘盖21之间设有软体串接带，如乳胶带或塑料带可方便安装（图中未画出）。

参见图2，作为另一方案，燕尾座2上设有覆盖相应位置螺栓孔3的槽体22，为了便于防尘盖21的拆取，槽体22至少一端贯穿燕尾座2端面，防尘盖21为板状，滑动设置于滑槽22内。

作为优选槽体22为燕尾槽，燕尾槽至少一端贯穿燕尾座2端面，板状防尘盖21为与燕尾槽配合的燕尾板。