[实用新型]硅粉干燥炉消泡装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种多晶硅生产工艺中的辅助装置，更具体地说，尤其涉及一种用于三氯氢硅生产的硅粉干燥炉消泡装置。

背景技术

三氯氢硅产品一般由金属硅粉和氯化氢气体在合成炉内反应生成，因三氯氢硅产品遇水极易发生反应，所以要求所用原料硅粉和氯化氢气体必须相对干燥。当硅粉暴露在空气中时，其表面容易吸收一定的水份，使用前需要通过干燥装置进行干燥。

目前，干燥硅粉大多在干燥炉中进行，是用流动的热氮气将硅粉表面的水份带走。硅粉在干燥炉流化过程中，炉体流动层内的氮气易形成气泡，形成的气泡边成长边上升，由最初较小的气泡逐渐生成为大的气泡。当气泡成长到塔径般大时，正常的流动停止，形成活塞式的流动，此时，硅粉会被气泡带走，使硅粉在干燥过程中造成了损失。

实用新型内容

本实用新型的目的在于针对上述现有技术的不足，提供一种硅粉干燥炉消泡装置，该装置能够消除硅粉干燥炉中的气泡，减少硅粉在干燥过程中的损失。

为实现上述目的，本实用新型所提供的一种硅粉干燥炉消泡装置，包括两块对称设置且具有通气孔的平行板、竖直设置在两平行板之间的支撑柱、以及环绕在两平行板外围的若干串吊环，位于顶层的平行板的外围还固定有安装片。

作为一种优选，所述消泡装置共有四个单元层，各单元层之间通过连锁机构串行联接在一起。

在硅粉干燥炉中加装本实用新型消泡装置后，炉内氮气在干燥硅粉时需经过多层平行板上通气孔的过滤作用，导致氮气无法形成气泡，因此本实用新型消泡装置能有效地抑制硅粉干燥炉内氮气气泡的产生，从而抑制气泡将硅粉带走，减少硅粉在干燥过程中的损失。

附图说明

图1是本实用新型硅粉干燥炉消泡装置的结构示意图。

图中：1-连锁机构；2-平行板；21-通气孔；3-支撑柱；4-吊环；5-安装片。

具体实施方式

为能进一步了解本实用新型的发明内容和特点，兹例举以下实例，并配合附图详细说明如下，但并不构成对本实用新型的任何限制。

参照附图1，本实用新型硅粉干燥炉消泡装置，共有四个单元层，各单元层之间通过连锁机构1串行联接在一起，每个单元层结构均由两块对称设置且具有通气孔21的平行板2、竖直设置在两平行板2之间起支撑作用的支撑柱3、环绕在两平行板2外围的若干串吊环4组成。位于顶层的平行板2的外围还固定有安装片5，用于将本实用新型消泡装置安装在硅粉干燥炉内。

在硅粉干燥炉中加装本实用新型消泡装置后，炉内氮气在干燥硅粉时需经过多层平行板2上通气孔21的过滤作用，导致氮气无法形成气泡，因此本实用新型消泡装置能有效地抑制硅粉干燥炉内氮气气泡的产生，从而抑制气泡将硅粉带走，减少硅粉在干燥过程中的损失。吊环4可使本实用新型消泡装置在硅粉干燥炉中灵活的摆动。