[实用新型]一种基于质量流量的气体浓度配比装置有效
| 申请号： | 201120324653.7 | 申请日： | 2011-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN202289890U | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 宋建辉;于鹏 | 申请（专利权）人： | 沈阳理工大学 |
| 主分类号： | B01F3/02 | 分类号： | B01F3/02;B01F15/04 |
| 代理公司： | 沈阳利泰专利商标代理有限公司 21209 | 代理人： | 李枢 |
| 地址： | 110159 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 质量 流量 气体 浓度 配比 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于质量流量的气体浓度配比装置，包括控制单元、A/D转换器、D/A转换器、质量流量控制器、人机界面、触摸屏接口、气源，其特征在于所述的人机界面通过触摸屏接口与控制单元相连接，控制单元通过A/D转换器采集质量流量计输出的模拟量信号，形成一个闭环控制，气源经管路连接质量流量控制器，形成混合气体。
2.根据权利要求1所述的一种基于质量流量的气体浓度配比装置，其特征在于所述的质量流量控制器，包括减压阀，质量流量计，混气室，气源通过气路经减压阀与质量流量计相连通，并在混气室内予以混合。
3.根据权利要求1所述的一种基于质量流量的气体浓度配比装置，其特征在于所述的控制单元使用MCS51单片机作为控制器。
4.根据权利要求1所述的一种基于质量流量的气体浓度配比装置，其特征在于所述的A/D转换器采用MCP3204A/D芯片来计量输入的模拟量。
5.根据权利要求1所述的一种基于质量流量的气体浓度配比装置，其特征在于所述的D/A转换器采用TLC5638D/A芯片将要输出的气体流量值变换成标准电压信号。
6.根据权利要求1所述的一种基于质量流量的气体浓度配比装置，其特征在于所述的人机界面使用触摸屏作为显示和输入。
7.根据权利要求1所述的一种基于质量流量的气体浓度配比装置，其特征在于所述的气源采用两种不相互反应的N2和CO2气体作为配比气体。
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