[实用新型]酸性氯化物蚀刻液的循环再生及金属铜回收系统

权利要求书

1.一种酸性氯化物蚀刻液的循环再生及金属铜回收系统，其特征在于其包括：

酸性蚀刻槽，其内的药剂包括氯化铜，盐酸和少量添加剂；

膜电解槽，通过泵浦和管道连接到上述酸性蚀刻槽，该膜电解槽内分阴极区和阳极区，阴阳极以隔离膜支架分隔，所述阳极区是采用浸流式阳极；

自动控制装置，连接到上述膜电解槽，用于将蚀刻液由泵浦从蚀刻槽打入膜电解槽的阳极区；并将电解再生处理后的蚀刻液由阳极区用泵浦或自然溢流的方式打回至蚀刻工作槽继续蚀刻金属作业。

2.根据权利要求1所述的酸性氯化物蚀刻液的循环再生及金属铜回收系统，其特征在于：所述浸流式阳极区可以是多孔石墨材料或多层网状以钛为基材涂覆有钌或铱或其它的单一贵金属氧化物涂层之材料，或者是二者混合的结构。

3.根据权利要求1所述的酸性氯化物蚀刻液的循环再生及金属铜回收系统，其特征在于：所述阴极区采用不锈钢或纯钛、钛合金之金属材料制作的阴极板。

4.根据权利要求1所述的酸性氯化物蚀刻液的循环再生及金属铜回收系统，其特征在于：所述隔离膜为全氟化高分子聚合物磺酸盐阳离子交换剂材料的阳离子交换膜。