[实用新型]带进料装置的多晶硅还原炉有效
申请号: | 201120329958.7 | 申请日: | 2011-09-05 |
公开(公告)号: | CN202175564U | 公开(公告)日: | 2012-03-28 |
发明(设计)人: | 赵振元;罗明树;罗正 | 申请(专利权)人: | 信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司 |
主分类号: | C01B33/03 | 分类号: | C01B33/03 |
代理公司: | 成都中亚专利代理有限公司 51126 | 代理人: | 陈亚石 |
地址: | 610051 *** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 进料 装置 多晶 还原 | ||
1.一种带进料装置的多晶硅还原炉,包括有炉罩(1)、底盘(2)、加热碳棒(3)、进料管(4)和出料管(5),所述炉罩(1)安装在底盘(2)上,其特征在于:所述进料管(4)末端安装有进料装置(6)。
2.根据权利要求1所述的带进料装置的多晶硅还原炉,其特征在于:所述进料装置(6)由数段导向圆筒构成,且导向圆筒分为正向导向圆筒(6.1)和反向导向圆筒(6.2),所述正向导向圆筒(6.1)内周面设置有正螺旋导向板(6.1.1),所述反向导向圆筒(6.2)内周面设置有反螺旋导向板(6.2.1),正向导向圆筒(6.1)与反向导向圆筒(6.2)间通过法兰(6.3)连接,且正向导向圆筒(6.1)与反向导向圆筒(6.2)呈交替连接方式连接。
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