[实用新型]一种切割硅片用夹具

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种夹具，特别是一种将硅棒切割成硅片时用的夹具。

背景技术

将硅棒切割成硅片，当切割到一定深度时，尤其是硅棒两端的硅片会向外翻扩，致使硅棒两端的硅片损伤严重，易形成碎片和缺角片，成品率和合格品率都受到不利影响，生产中通常是通过调整硅片切割机的切割速度、选用切割能力强的碳化硅作为线网材料等办法来解决的，但是都没有起到较好的效果。

实用新型内容

实用新型目的：针对上述问题，本实用新型的目的是提供一种将硅棒切割成硅片时防止硅片外翻的夹具。

技术方案：一种切割硅片用夹具，包括两侧开设有导轨的底座、挡板和丝杆，所述挡板垂直于所述底座并且沿所述导轨移动，所述丝杆牵引所述挡板移动。

所述挡板至少是成对设置，对切割后的硅棒两端的硅片同时夹住，防止硅片外翻。

所述丝杆一端与所述挡板底边固定，另一端在所述底座边缘通过螺母调整定位，对夹在挡板之间的硅片不造成干涉和损坏，同时便于根据两端硅片实际位置移动挡板位置。

有益效果：与现有技术相比，本实用新型的优点是通过夹具对硅棒切割后两端的硅片收拢，防止其外翻造成的损伤，结构简单，操作方便，并且便于根据硅片的位置调整夹具挡板的位置，实用性强，能有效减少不合格硅片的数量，提高成品率和合格品率。

附图说明

图1为本实用新型主视图；

图2为图1的俯视图；

图3为本实用新型使用状态示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例，进一步阐明本实用新型，应理解这些实施例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围，在阅读了本实用新型之后，本领域技术人员对本实用新型的各种等价形式的修改均落于本申请所附权利要求所限定的范围。

如附图1、2所示，一种切割硅片用夹具，包括矩形的底座2、挡板3和丝杆4，底座2两侧开设有导轨1，挡板3垂直于底座2，挡板3底边两端的突出部分5卡于导轨1中使得挡板3沿导轨1前后移动，丝杆4一端与挡板3底边固定牵引挡板3移动，丝杆4另一端在底座2边缘通过螺母调整定位。挡板3成对设置，数量也可以为三个、四个等，以便根据实际需要组合使用。

如附图3所示，本实用新型在使用时，置于多线硅片切割机线网6下方空间区域，使底座2与线网6平行，先将挡板3分别拉至底座2两头，避免碰到硅片。当硅棒7在线网上方向下运动被线网6逐渐切割出一定深度到达线网6下方后，通过丝杆4带动挡板3移动至两端硅片的外侧，使切割的硅片位于两块挡板3之间，继续切割。