[实用新型]研磨垫调节器的环形处理面及其制造模具结构

权利要求书

1.一种研磨垫调节器的环形处理面结构，以旋转方式研磨处理该研磨垫的表面，其特征在于，包括：

一外框，为一圆盘状结构体，且其周缘设有一环挡墙；

一结合层，填充设于该外框的内部而形成一圆盘状结构体，由该结合层的圆心向外依序设有一第一区域、一第二区域及一第三区域，且该第二区域上具有至少一凸部，经旋转后而形成环形设置，该第二区域的面积占了总面积的1/20～1/30；及

多个磨粒，设于该第一区域、该第二区域及该第三区域上，该第二区域的该多个磨粒的分布密度小于该第一区域的该多个磨粒的分布密度，且该第二区域的该多个磨粒的分布密度小于该第三区域的该多个磨粒的分布密度，该第二区域的该多个磨粒的尖锐端高度落差小于100μm。

2.如权利要求1所述的研磨垫调节器的环形处理面结构，其中，该外框是由聚苯硫醚而制成。

3.如权利要求1所述的研磨垫调节器的环形处理面结构，其中，该凸部是一环形结构体而环绕该第一区域。

4.如权利要求1所述的研磨垫调节器的环形处理面结构，其中，该多个磨粒选自天然钻、人工钻、氮化硼或碳化硅。

5.如权利要求1至3中任一项所述的研磨垫调节器的环形处理面结构，其中，该多个磨粒选自树脂黏着、硬焊固结、高温烧结、电镀或陶瓷固结的方式而设置于该结合层上。

6.一种用以制造如权利要求1所述的研磨垫调节器的环形处理面结构的制造模具结构，其特征在于，包括：

一底模，对应该外框的形状而设置，该底模对应该第二区域而设有至少一凹槽，该凹槽内具有至少一连通孔，该连通孔连通至该底模的外缘且与一抽气装置相连接；

一塑型片，设于该底模的一侧，且该塑型片上设有多个锥形孔，该抽气装置运转时可对该凹槽产生真空吸力，并使该塑型片弯折变形而容置于该凹槽内；

一黏胶层，设于该塑型片的一侧且位于该多个锥形孔内；

一不沾黏网板，设于该塑型片的一侧且具有多个开孔，且该多个开孔对应该多个锥形孔的位置而设置，供以分隔布设于该不沾黏网板上方的该多个磨粒；及

一弹性压片，设于该不沾黏网板的一侧，供以压制该多个磨粒的尖锐端而插入该塑型片内部，且被该黏胶层暂时固定；移去该弹性压片及该不沾黏网板后，将该外框包覆盖设于该底模上以形成一容置空间，且该结合层填充设于该容置空间内，待该结合层凝固成型后而于该第二区域上形成有凸出于表面的该凸部的该环形处理面。