[实用新型]一种用于卷绕镀膜机上的残余气体分析装置有效
| 申请号： | 201120332776.5 | 申请日： | 2011-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN202210090U | 公开（公告）日： | 2012-05-02 |
| 发明（设计）人： | 郭东升 | 申请（专利权）人： | 南昌欧菲光科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/62 | 分类号： | G01N27/62;C23C14/56 |
| 代理公司： | 南昌新天下专利商标代理有限公司 36115 | 代理人： | 施秀瑾 |
| 地址： | 330000 江西省*** | 国省代码： | 江西;36 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 卷绕 镀膜 残余 气体 分析 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于卷绕镀膜机上的残余气体分析装置，它包括卷绕镀膜机中的放卷真空室（2）、计算机（3），其特征在于：感应探头（1）伸入到放卷真空室（2）中，感应探头（1）另一端与计算机（3）连接。
2.根据权利要求1所述的卷绕镀膜机上的残余气体分析装置，其特征在于：所述放卷真空室（2）中依次连接有卷料基材（4）、红外加热器（5）、等离子刻蚀（6）、张力隔离鼓（7）。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南昌欧菲光科技有限公司，未经南昌欧菲光科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201120332776.5/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：无功补偿电容臌胀的安全监测装置
- 下一篇：棒材力学性能检测用金具
