[实用新型]一种用于硅片脱胶清洗机预清洗系统中的专用喷嘴有效
| 申请号： | 201120332988.3 | 申请日： | 2011-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN202238738U | 公开（公告）日： | 2012-05-30 |
| 发明（设计）人： | 王乃仁;朱文军;高伟;薛阿兰 | 申请（专利权）人： | 西安烽火光伏科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 涂秀清 |
| 地址： | 710077 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 硅片 脱胶 清洗 系统 中的 专用 喷嘴 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于硅片脱胶清洗机预清洗系统中的专用喷嘴，专用喷嘴主要由螺纹接口、紧固平台、通孔、喷口构成，专用喷嘴的一端为螺纹接口，另一端开有通槽，通槽中部内设有V形坡口，V形坡口上开有喷口，喷口与通孔相通，其特征在于，喷口的形状为椭圆，椭圆的偏心率e的数值参数范围为：0.6≤e≤0.8，椭圆的长轴与通槽方向相同，长轴的长度为V形坡口宽度的80％至90％。
2.根据权利要求1所述的用于硅片脱胶清洗机预清洗系统中的专用喷嘴，其特征在于：喷口的形状为椭圆，椭圆的偏心率e等于0.7。
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