[实用新型]多晶硅铸锭炉测温装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及光伏行业的多晶锭铸锭炉，具体说是指多晶硅铸锭炉测温装置。

背景技术

多晶锭铸锭炉是一种硅重熔设备,其功能是将含有杂质的硅原料通过重熔技术提炼成具备发电纯度的太阳能级硅锭，其过程为：加热、熔锭、长晶、退火、冷却5个步骤，对晶片质量特别关键的是长晶工艺，对晶核长大与长晶大小的控制，需要严格遵循稳定合理的温度梯度曲线。硅的熔点在1414℃，炉体内热场温度通常到达1550℃，所以从加热、熔化到长晶都处在高温状态下，在实际生产中，需要严格控制热交换台的的温度升降，而热交换台的实时温度是用上下两个热电偶来测定的，热电偶外面套着虽硬但脆的陶瓷保护管，在炉体底部中央穿过保温层垂直通到热交换台中央的管孔中，在保温层上下邻近的两段区域内都是悬空直立着的，容易和周围空间互相传递热量而影响到对热交换台测温的准确性，在往炉内装料、炉体升降或其他状况产生摇晃时，陶瓷保护管容易碰碎，或由于长时间处在高温下导致氧化变形，甚至断裂、漏气，经常发生由于测温装置失效，导致整炉的多晶硅铸锭报废的故障。

发明内容

本实用新型的目的在于克服上述现有技术的缺陷，提供一种测温准确、使用寿命长的多晶硅铸锭炉测温装置。

本发明主旨是利用现有的炉体结构，通过改变安装位置和连接方式来实现的，技术方案如下：

多晶硅铸锭炉测温装置包括热电偶、石墨立柱、热交换台、下炉体凸台、管夹、石墨坩埚底板，在支撑炉体的数根石墨立柱的其中之一沿轴心线打贯通孔，在管孔中设置热电偶，热电偶穿过热交换台的通孔，顶部接触石墨坩埚底板，热电偶底部通过管夹固定在下炉体凸台上，热电偶传递数据的线路从石墨立柱管孔下部接出。

本实用新型的好处是：把热电偶从单独悬空安装，移动到石墨立柱管孔中安装后，由于石墨立柱和热交换台、炉体都是牢固的刚性固定连接，所以铸锭操作不会对热电偶套管产生磕碰，安全性能好，使用寿命长；而且热电偶处在石墨立柱厚厚的管壁包裹中，不受外界热场温度的影响，只感应热交换台的实时温度，测温精度高，对提高硅锭质量影响甚大。 

附图说明

图1 为本实用新型的多晶硅铸锭炉测温装置剖面图；

图2 为现有技术的多晶硅铸锭炉测温装置剖面图及其局部放大图。

附图标记说明：

1热电偶，2石墨立柱，3热交换台，4下炉体凸台，5 管夹，6石墨坩埚底板。

具体实施方式

下面结合实施例和附图来进一步阐述本实用新型：

实施例：如图1所示的多晶硅铸锭炉测温装置，具有热电偶1，石墨立柱2，热交换台3，下炉体凸台4， 管夹5，石墨坩埚底板6。下面通过安装过程来进一步展开阐述，热电偶1从石墨立柱2管孔的底部插入，穿过热交换台3的通孔，热电偶1顶部接触到石墨坩埚底板6，热电偶1底部通过管夹5夹固定在下炉体凸台4上，热电偶1传递数据的线路从石墨立柱2管孔下部接出。

除上述实施例外，本实用新型还可以有其他实施方式。凡采用等同替换或等效变换形成的技术方案，均落在本实用新型要求的保护范围内。