[实用新型]高能多态低温等离子发生器

权利要求书

1.一种高能多态低温等离子发生器，包括内电极（1）、外电极（2），内电极（1）和外电极（2）分别与电源连接，其特征在于，所述内电极（1）和外电极（2）为管状结构，内电极（1）的中空腔体为冷却通道（11），内电极（1）和外电极（2）两端分别设有电极支座（3），内电极（1）和外电极（2）两端分别固定在电极支座（3）上，内电极（1）套在外电极（2）内部，内电极（1）外表面与外电极（2）内表面之间形成电离通道（22），所述电离通道（22）两端分别设有气雾输入口（4）和气雾输出口（5），气雾输入口（4）和气雾输出口（5）分别与电离通道（22）相通。

2.根据权利要求1所述的高能多态低温等离子发生器，其特征在于，所述内电极（1）和外电极（2）为圆管状或方管状，内电极（1）表面设有绝缘层（12）。

3.根据权利要求2所述的高能多态低温等离子发生器，其特征在于，所述外电极（2）表面设有绝缘层（12）。

4.根据权利要求1所述的高能多态低温等离子发生器，其特征在于，所述气雾输入口（4）和气雾输出口（5）分别设在外电极（2）两端的电极支座（3）上。

5.根据权利要求1所述的高能多态低温等离子发生器，其特征在于，所述内电极（1）两端的电极支座（3）上分别设有内电极固定槽（31）和外电极固定槽（32），内电极固定槽（31）和外电极固定槽（32）的槽面形状分别与内电极（1）和外电极（2）的横截面外轮廓形状对应，内电极（1）两端和外电极（2）两端分别固定在内电极固定槽（31）和外电极固定槽（32）内。

6.根据权利要求5所述的高能多态低温等离子发生器，其特征在于，所述内电极固定槽（31）底部还设有一个通孔（33），通孔（33）与冷却通道（11）相通。

7.根据权利要求1至6任一项所述的高能多态低温等离子发生器，其特征在于，所述气雾输入口（4）设有雾化器（6），雾化器（6）的输气口（7）与气雾输入口（4）连通，雾化器（6）的输气口（7）还设有调节阀（99）。

8.根据权利要求7所述的高能多态低温等离子发生器，其特征在于，所述雾化器（6）上设有液体入口（8）和气体入口（9），液体入口（8）和气体入口（9）分别还设有电磁阀（10）。

9.根据权利要求1所述的高能多态低温等离子发生器，其特征在于，所述电源为高频高压电源。