[实用新型]一种磁电阻自动测量装置

权利要求书

1.一种磁电阻自动测量装置，其特征在于：包括磁电阻测量单元、磁场发生单元、样品移动单元以及控制单元，所述控制单元通过数据采集卡分别与磁电阻测量单元、磁场发生单元、以及样品移动单元相连接；所述磁场发生单元水平设于待测磁电阻样品的外围，待测磁电阻样品上方的磁场发生单元设有开口；所述磁电阻测量单元设于磁场发生单元的上方，所述样品移动单元设于磁场发生单元的下方，并与磁场发生单元连接固定；其中，所述磁电阻测量单元接收控制单元的测量控制信号，并通过开口与待测磁电阻样品相连接。

2.根据权利要求1所述的磁电阻自动测量装置，其特征在于：所述磁场发生单元包括线圈、软磁衬底以及磁场交直流电压源，所述线圈设于软磁衬底的上方，并与软磁衬底相连接；所述软磁衬底设于样品移动单元的上方，并与样品移动单元连接固定；待测磁电阻样品设于软磁衬底上方，并且待测磁电阻样品位于线圈以及软磁衬底之间；所述磁场交直流电压源的一端与所述控制单元相连接，另一端与线圈相连接。

3.根据权利要求2所述的磁电阻自动测量装置，其特征在于：所述软磁衬底的材料为FeCo或单质金属。

4.根据权利要求1所述的磁电阻自动测量装置，其特征在于：所述磁电阻测量单元包括显微镜、四探针、锁相放大器、交直流电压表以及交直流电流电压源，所述四探针、显微镜依次设于待测磁电阻样品的上方；所述四探针通过电路板与交直流电流电压源构成测量回路；所述四探针还通过电路板与锁相放大器的一端相连接，锁相放大器的另一端与交直流电压表相连接；所述四探针还通过电路板与待测磁电阻样品相连接；所述控制单元分别与显微镜、四探针、交直流电压表以及交直流电流电压源相连接。

5.根据权利要求1所述的磁电阻自动测量装置，其特征在于：所述样品移动单元包括样品台控制箱以及移动样品台，所述控制单元通过样品台控制箱与移动样品台相连接；所述移动样品台设于磁场发生单元的下方。