[实用新型]一种线列式有机金属化合物气相淀积系统

权利要求书

1.一种线列式有机金属化合物气相淀积系统，包括用于传输玻璃基板的传输系统和以该传输系统为基座依次分布和连接的装载台、预处理单元、反应单元、后处理单元和卸载台，其特征在于还包括设于装载台和预处理单元之间的装载缓冲台、设于后处理单元与卸载台之间的卸载缓冲台；同时，在预处理单元、反应单元和后处理单元的传输系统上设有至少两套传输子系统。

2.根据权利要求1所述的线列式有机金属化合物气相淀积系统，其特征在于所述预处理单元、反应单元和后处理单元的传输子系统为滚轮传输系统。

3.根据权利要求1或2所述的线列式有机金属化合物气相淀积系统，其特征在于所述装载台、装载缓冲台、预处理单元、反应单元、后处理单元、卸载缓冲台和卸载台的传输系统分别设有传感单元以及分别与传输系统、传感单元连接的控制单元。

4.根据权利要求3所述的线列式有机金属化合物气相淀积系统，其特征在于所述传感单元的位置对应于玻璃基板待命位置的前端和/或后端。

5.根据权利要求3所述的线列式有机金属化合物气相淀积系统，其特征在于所述控制单元包含传输电机控制模块和传感单元控制模块。

6.根据权利要求3所述的线列式有机金属化合物气相淀积系统，其特征在于所述预处理单元、反应单元、后处理单元的每套滚轮传输系统均设置传感单元。

7.根据权利要求3所述的线列式有机金属化合物气相淀积系统，其特征在于所述预处理单元、反应单元和后处理单元的底部或侧壁设有孔，传感单元通过连接件分别对应固定设置在该孔内；装载台、装载缓冲台、卸载缓冲台和卸载台的两侧分别设有支架，传感单元通过连接件分别对应固定设置在该支架上。

8.根据权利要求1所述的线列式有机金属化合物气相淀积系统，其特征在于所述玻璃基板的大小规格介于600×1200mm与3300×6000mm之间。

9.根据权利要求8所述的线列式有机金属化合物气相淀积系统，其特征在于所述玻璃基板的大小规格为635mm×1245 mm。