[实用新型]扭摆式角速率陀螺仪

权利要求书

1.一种扭摆式角速率陀螺仪，由上层的机械结构和下层的玻璃衬底构成，其特征在于：整个机械结构通过第一组水平扭杆（2a、2b、2c）与第一固定基座（1a）连接，通过第二组水平扭杆（2d、2e、2f）与第二固定基座（1b）连接，使上层的机械结构悬空在下层的玻璃衬底之上；第一固定基座（1a）布置在第一横梁（3a）的下面，第二固定基座（1b）布置在第二横梁（3b）的上面；两组水平扭杆（2a、2b、2c、2d、2e、2f）均在XY平面内; 第一组扭杆中的第一、第三扭杆（2a、2c）和第二组扭杆中的第四、第六扭杆（2d、2f）沿X轴方向布置；第一组扭杆中的第二扭杆（2b）和第二组扭杆中的第五扭杆（2e）沿Y轴方向布置。

2.根据权利要求1所述的扭摆式角速率陀螺仪，其特征在于：第一横梁（3a）通过第一组水平扭杆（2a、2b、2c）与第一固定基座（1a）连接；第二横梁（3b）通过第二组水平扭杆（2d、2e、2f）与第二固定基座（1b）连接。

3.根据权利要求1所述的扭摆式角速率陀螺仪，其特征在于：陀螺仪的机械结构由两个相同的子结构（100、200）左右对称布置，两个子结构（100、200）通过质量块连接机构（6）相互连接，质量块连接机构（6）由两个连接杆（6a、6b）和一个连接框（6c）构成，两个连接杆（6a、6b）的一端分别与连接框（6c）连接，另一端连接两个子结构（100、200）。

4.根据权利要求3所述的扭摆式角速率陀螺仪，其特征在于：第一子结构（100）由第一质量块（101）、驱动支承梁（105a、105b、105c、105d）、以及第一质量块（101）四周的驱动电容、驱动检测电容和敏感电容组成，第一质量块（101）与四根驱动支承梁（105a、105b、105c、105d）连接，其中第一、第二驱动支承梁（105a、105b）与第一横梁（3a）连接，第三、第四驱动支承梁（105c、105d）与第二横梁（3b）连接；第二子结构（200）由第二质量块（201）、驱动支承梁（205a、205b、205c、205d）、以及第二质量块（201）四周的驱动电容、驱动检测电容和敏感电容组成，第二质量块（201）与四根驱动支承梁（205a、205b、205c、205d）连接，其中第五、第六驱动支承梁（205a、205b）与第一横梁（3a）相连，第七、第八驱动支承梁（205c、205d）与第二横梁（3b）相连。

5.根据权利4所述的扭摆式角速率陀螺仪，其特征在于：第一质量块（101）上下对称分布的活动梳齿与固定驱动梳齿（103a、103b、103c、103d）交错对插排列形成驱动电容，活动梳齿与固定驱动检测梳齿（104a、104b）交错对插排列形成驱动检测电容，左右对称分布的活动敏感梳齿与固定敏感梳齿（102a、102b、102c）交错对插排列形成敏感电容；第二质量块（201）上下对称分布的活动梳齿与固定驱动梳齿（203a、203b、203c、203d）交错对插排列形成驱动电容，活动梳齿与固定驱动检测梳齿（204a、204b）交错对插排列形成驱动检测电容，左右对称分布的活动敏感梳齿与固定敏感梳齿（202a、202b、202c）交错对插排列形成敏感电容。

6.根据权利要求3所述的扭摆式角速率陀螺仪，其特征在于：第一固定基座（1a）和第一固定键合点（4a）相连，第二固定基座（1b）和第二固定键合点（4b）相连，固定驱动梳齿（103a、103b、103c、103d、203a、203b、203c、203d）、固定驱动反馈梳齿（104a、104b、204a、204b）、固定敏感梳齿（102a、102b、102c、202a、202b、202c）分别与下层玻璃衬底的对应键合点（112a、112b、112c、112d、212a、212b、212c、212d、113a、113b、213a、213b、111a、111b、111c、211a、211b、211c）相连。