[实用新型]一种扩散炉管DCE吹扫的进气路装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体加工中的扩散设备，尤其针对扩散炉管在使用DCE（即二氯乙烯）吹扫过程中安全性的改善，即气路改善方面。

背景技术

在半导体分立器件生产过程中，很多关键工序都需要使用扩散炉。这其中扩散炉管中干净、无金属杂质至关重要，直接关系到半导体产品的良率。因此扩散炉管需要定期进行DCE吹扫清洁，而DCE属于易燃易爆气体，在实际使用中易燃并已有燃烧的记录，存在一定的安全隐患。为此势必对DCE吹扫的气路加以改善，使其保持气流平稳，防止发生意外燃烧或爆炸。

发明内容

鉴于上述现有技术存在的缺陷，本实用新型的目的是提出一种扩散炉管DCE吹扫的进气路装置，消除扩散炉管在使用DCE吹扫过程中的安全隐患。

本发明的目的，将通过以下技术方案得以实现：

一种扩散炉管DCE吹扫的进气路装置，其特征在于：所述进气路装置具有一个两位三通气动阀，所述两位三通气动阀的入口接氮气源，且其出口具有在常开端和常闭端相切换的两条气路，两条气路分别各自连接一个单向阀，其中所述常开端的单向阀另一端与排风装置相接；所述常闭端的单向阀另一端连入DCE鼓泡装置的进气口，并且所述DCE鼓泡装置的排气口通过第三单向阀与扩散炉管相连通。

进一步地，所述扩散炉管为石英炉管。

本实用新型DCE气路改进的应用，其突出效果为能够消除扩散炉管使用DCE吹扫过程中的着火隐患，保证低压氮气的气流平稳，提高了工艺设备的安全可靠性。

以下便结合实施例附图，对本发明的具体实施方式作进一步的详述，以使本发明技术方案更易于理解、掌握。

附图说明

图1是本实用新型扩散炉管DCE吹扫进气路装置的结构改善示意图。

具体实施方式

本实用新型为了消除扩散炉管在使用DCE吹扫过程中的安全隐患，对设备原来的气路进行改造，保证气流的平稳，最终实现安全可靠的目的。

为达到上述效果，如图1所示的本实用新型进气路装置具有一个两位三通气动阀1，该两位三通气动阀1的入口COM接氮气源，且其出口具有在常开端NO和常闭端NC相切换的两条气路，常开端NO的气路连接一个单向阀21，常闭端NC的气路连接一个单向阀22，其中该常开端的单向阀21另一端与排风装置3相接；且常闭端的单向阀22另一端连入DCE鼓泡装置4的进气口，并且该DCE鼓泡装置4的排气口通过第三单向阀23与扩散炉管5相连通。

其中，为改善该扩散炉的耐用性，本实用新型选择在扩散炉管口外接石英炉管，或直接采用石英材质的扩散炉管。

在实际操作过程中，低压氮气进入两位三通气动阀1的公共端COM，首先从三通阀的常开端NO出，经单向阀21进入排风口3；待低压氮气气流平稳后，工艺程序再驱动两位三通气动阀1由常开端NO切换到常闭端NC，低压氮气改从常闭端NC出后，经单向阀22进入DCE鼓泡装置4，并携带其中的DCE气体从排气口排出，最后经单向阀23进入石英炉管5，对扩散炉管进行DCE吹扫。

通过以上装置结构及工作过程的简述可见本实用新型的突出效果：能够消除扩散炉管使用DCE吹扫过程中的着火隐患，保证低压氮气的气流平稳，提高了工艺设备的安全可靠性。