[实用新型]痕量氧分析仪管路优化结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种痕量氧分析仪，尤其涉及一种在样品气或分析仪吹扫气不合格的情况下可保证痕量氧分析仪正常使用的痕量氧分析仪管路优化结构。

背景技术

随着电子行业尤其是像半导体，液晶面板等行业的快速发展，对于超高纯电子气的需要也迅速增长，其对氧含量的要求通常是几十个ppb，有的甚至要求达到1ppb。一般的原电池型氧分析仪在通入纯度达标的样品气后，仍然需要数天时间来降至所需要的纯度，而装置调试过程中时常发生跳车，这就又增加了分析仪降至所需纯度的时间，因此在线分析仪对样品气实现快速准确分析成为人们的关注焦点。

发明内容

本实用新型主要是提供了一种结构简单，在样品气或分析仪吹扫气不合格的情况下可确保痕量氧分析仪不会与不合格气体接触，并在样品气或分析仪吹扫气达标后能快速恢复使用的痕量氧分析仪管路优化结构，解决了现有技术中存在的当样品气或分析仪吹扫气不合格时会直接进入痕量氧分析仪，由此导致分析仪恢复时间长，影响工作效率等的技术问题。

本实用新型的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的：一种痕量氧分析仪管路优化结构，包括痕量氧分析仪及其进气管路和排放管路，在进气管路上设有三通阀，所述三通阀分别与分析仪吹扫气源、样品气源及量程气源对应连接，在对应于三通阀与痕量氧分析仪之间的进气管路上设有二位四通电磁阀，在排放管路上设有二位开关电磁阀，所述二位四通电磁阀和二位开关电磁阀连接在检测控制系统上，且对应于二位四通电磁阀中的一个端口通过旁路管路与二位开关电磁阀的进气端口相连。通过在痕量氧分析仪的进气管路上安装一个二位四通电磁阀，在排放管路上安装一个二位开关电磁阀，正常工作时，二位开关电磁阀状态为开，来自样品气源的样品气（或分析仪吹扫气源的分析仪吹扫气）通过二位四通电磁阀的两个端口进入痕量氧分析仪后进入排放管路，其中一部分样品气经过二位开关电磁阀后再次进入排放管路，另一部分样品气经过旁路管路回流至二位四通电磁阀，并通过二位四通电磁阀的另外两个端口持续吹扫管线后排空。当检测控制系统检测到样品气有纯度变坏趋势或者控制系统连锁（如装置跳车）时，检测控制系统控制二位四通电磁阀和二位开关电磁阀同时切换，二位开关电磁阀关闭，此时旁路管路内纯度仍旧合格的样品气经过二位四通电磁阀上的两个端口再次进入痕量氧分析仪进行循环，而来自样品气源的不合格样品气通过二位四通电磁阀其它两个端口将样品气体排出，当样品气纯度合格或者装置恢复正常工作后，检测控制系统控制二位四通电磁阀和二位开关电磁阀复位，系统即恢复正常，只在原有管路中增加一个二位四通电磁阀和二位开关电磁阀，结构简单，在样品气或分析仪吹扫气不合格的情况下均可通过检测控制系统自动切换二位四通电磁阀和二位开关电磁阀，确保痕量氧分析仪不会进入不合格气体，并在样品气或分析仪吹扫气达标后能快速恢复使用，痕量氧分析仪恢复迅速，提高工作效率。

作为优选，所述二位四通电磁阀包括A1端口、A2端口、A3端口和A4端口，其中的A3端口与旁路管路相连，在A4端口上连接有第二排放管路。通过二位四通电磁阀上的四个端口可自动转换管路内气体的流动方向，可靠性好，自动化程度高。

作为优选，在对应于二位四通电磁阀与痕量氧分析仪之间的进气管路上设有零点纯化器。可在样品气纯度变坏时，根据需要手动开启零点纯化器，使痕量氧分析仪内维持纯度合格的环境，进一步保证痕量氧分析仪不会与不合格气体接触。

作为优选，所述二位四通电磁阀和二位开关电磁阀均为隔膜阀。隔膜阀流阻小，性能稳定，价格便宜。

作为优选，在所述分析仪吹扫气源与三通阀之间的进气管路上设有分析仪吹扫气调压阀和分析仪吹扫气过滤器。通过分析仪吹扫气调压阀可任意调节分析仪吹扫气的进气压力，分析仪吹扫气过滤器可去除分析仪吹扫气内的粉尘杂质，防止粉尘杂质进入痕量氧分析仪而降低痕量氧分析仪的精度。

作为优选，在所述样品气源与三通阀之间的进气管路上设有样品气调压阀和样品气过滤器。通过样品气调压阀可任意调节样品气的进气压力，样品气过滤器可去除样品气内的粉尘杂质，防止粉尘杂质进入痕量氧分析仪而降低痕量氧分析仪的精度。

作为优选，在所述量程气源与三通阀之间的进气管路上设有量程气过滤器。量程气过滤器可去除量程气内的粉尘杂质，防止粉尘杂质进入痕量氧分析仪而降低痕量氧分析仪的精度。