[实用新型]一种管式PECVD防炉门砸舟装置有效
| 申请号： | 201120342975.4 | 申请日： | 2011-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN202226915U | 公开（公告）日： | 2012-05-23 |
| 发明（设计）人： | 陈辉;周天贤;胡东明 | 申请（专利权）人： | 江阴鑫辉太阳能有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44 |
| 代理公司： | 江阴市永兴专利事务所(普通合伙) 32240 | 代理人： | 达晓玲;詹世平 |
| 地址： | 214400 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 pecvd 炉门 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种管式PECVD防炉门砸舟装置，包括炉体，所述炉体主要包含有炉门（1）、内炉壁（4）和外炉壁，所述炉体内设有石墨舟（2）和浆（3），所述石墨舟（2）位于浆（3）上，其特征是：所述炉门（1）区域设有检测石墨舟的第一光电开关（5），浆（3）的前端和末端分别设有第二光电开关（6）和第三光电开关（7）， 内炉壁（4）上设有第四光电开关（8），炉门（1）外的外炉壁上加设有一个确认按钮。
2.根据权利要求1所述的管式PECVD防炉门砸舟装置，其特征是：所述第一光电开关（5）、第二光电开关（6）、第三光电开关（7）和第四光电开关（8）均与工控机连接。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
