[实用新型]一种激光精密修调装置

权利要求书

1.一种激光精密修调装置，其特征在于：它包括激光器(1)、激光光学传输装置(2)、光束扫描装置(3)、视觉观察对准装置(4)和控制装置(5)；激光器(1)与控制装置(5)连接，激光光学传输装置(2)放置在激光器(1)发出的激光脉冲的光路上；光束扫描装置(3)与控制装置(5)连接，放置在激光脉冲的光路上、激光光学传输装置(2)的后侧；视觉观察对准系统放置在激光光学传输装置(2)的后侧。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述的激光器(1)为紫外激光器(1)，激光器(1)的重复频率在10k-100kHz范围内，功率在0.5-5W范围内，脉冲宽度在5-50ns范围内。

3.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于：所述的激光光学传输装置(2)，它包括激光扩束镜(6)、偏振衰减器(7)和二色分光镜(9)；激光扩束镜(6)、偏振衰减器(7)和二色分光镜(9)由近及远依次放置在激光器(1)发出的激光脉冲的光路上，激光脉冲的光路分别与激光扩束镜(6)、偏振衰减器(7)的光轴重合，激光脉冲的光路与二色分光镜(9)的法线方向成45度角。

4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于：所述的激光扩束镜(6)、偏振衰减器(7)和二色分光镜(9)均须由能透过紫外光的光学玻璃制成。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述的激光光学传输装置(2)还包括激光功率计(8)，激光功率计(8)放置在偏振衰减器(7)和二色分光镜(9)之间，激光功率计(8)的光路与偏振衰减器(7)和二色分光镜(9)重合。

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述的光束扫描装置(3)包括二维扫描振镜(10)和聚焦成像镜头(11)；二维扫描振镜(10)在激光脉冲的光路上、二色分光镜(9)的后侧；聚焦成像镜头(11)放置在二维扫描振镜(10)输出光路上，位于二维扫描振镜(10)的后侧。

7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述的视觉观察对准系统包括CCD摄像头(12)和监视器(13)，CCD摄像头(12)放置在激光光学传输装置(2)的一侧，CCD摄像头(12)的镜头的光轴与激光脉冲的光路垂直、且对准激光脉冲与二色分光镜(9)的交点；监视器(13)与CCD摄像头(12)连接。