[实用新型]蓝宝石晶体生长装置有效
申请号: | 201120345683.6 | 申请日: | 2011-09-15 |
公开(公告)号: | CN202247012U | 公开(公告)日: | 2012-05-30 |
发明(设计)人: | 李留臣;冯金生 | 申请(专利权)人: | 江苏华盛天龙光电设备股份有限公司 |
主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B15/30 |
代理公司: | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人: | 罗笛 |
地址: | 213200 江苏省常州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 蓝宝石 晶体生长 装置 | ||
1.一种蓝宝石晶体生长装置,其特征在于:包括安装在坩埚轴(1)上端的坩埚(3),坩埚(3)周围设置有加热器(5),坩埚(3)上方设置有籽晶杆(8),籽晶杆(8)的下端连接有籽晶(7);坩埚(3)、加热器(5)、籽晶(7)、籽晶杆(8)都处在真空室(2)内,真空室(2)设置有抽真空装置,给坩埚轴(1)设置有一套用于上下移动的移动装置和一套用于转动的传动装置,给籽晶杆(8)同样设置有一套用于上下移动的移动装置和一套用于转动的传动装置,所有移动装置、传动装置、加热器(5)、抽真空装置均与控制器连接。
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