[实用新型]一种镀膜机有效

专利信息
申请号: 201120349104.5 申请日: 2011-09-09
公开(公告)号: CN202259191U 公开(公告)日: 2012-05-30
发明(设计)人: 李德云;童鹏飞;徐新毅 申请(专利权)人: 浙江嘉毅能源科技有限公司
主分类号: H01L21/00 分类号: H01L21/00;B08B5/02
代理公司: 杭州天正专利事务所有限公司 33201 代理人: 舒良
地址: 324300 浙江省开化县*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 镀膜
【说明书】:

技术领域

本实用新型涉及一种镀膜机,特别用于太阳能硅片的生产。

背景技术

目前,在太阳能硅片的生产中采用的一种镀膜机,当硅片经过下料台收片时,一是有些硅片表面上有氮化硅粉尘,如果不及时处理,会造成印刷时虚印、断栅和碎片现象;二是如果硅片温度过高,在收片时产生的应力会导致硅片破碎。

发明内容

本实用新型的目的是提供能对硅片进行除尘和降温的一种镀膜机。

本实用新型采取的技术方案是:一种镀膜机,包括工作台,在工作台的一侧设有下料台,下料台上具有出片槽,其特征在于在出片槽的槽口上方设有吹气管,吹气管上具有若干个吹气孔;在下料台的顶部设有若干个散热风机,散热风机与出片槽相连通。

采用本实用新型,一是吹气管可以将硅片表面的氮化硅粉尘去除;二是散热风机可以及时对硅片进行降温,防止收片时硅片破碎。

附图说明

图1是本实用新型的主视示意图。

图2是本实用新型的侧视示意图。

图中序号表示:出片槽1、吹气管2、散热风机3、下料台4、工作台5和吹气孔6。

具体实施方式

下面对本实用新型作进一步说明。

参照图1,该镀膜机包括工作台5,在工作台5的一侧设有下料台4,下料台4上具有出片槽1,在出片槽1的槽口上方设有吹气管2,吹气管2上具有若干个吹气孔6;在下料台4的顶部设有若干个散热风机3,散热风机3与下料台的出片槽1相连通。当硅片从工作台5进入出片槽1时,散热风机3对硅片进行散热,然后由吹气管2通过吹气孔6扫气,去除硅片表面的氮化硅粉尘,从而实现除尘和降温的目的。

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