[实用新型]一种镀膜机有效
申请号: | 201120349104.5 | 申请日: | 2011-09-09 |
公开(公告)号: | CN202259191U | 公开(公告)日: | 2012-05-30 |
发明(设计)人: | 李德云;童鹏飞;徐新毅 | 申请(专利权)人: | 浙江嘉毅能源科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/00 | 分类号: | H01L21/00;B08B5/02 |
代理公司: | 杭州天正专利事务所有限公司 33201 | 代理人: | 舒良 |
地址: | 324300 浙江省开化县*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 镀膜 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种镀膜机,特别用于太阳能硅片的生产。
背景技术
目前,在太阳能硅片的生产中采用的一种镀膜机,当硅片经过下料台收片时,一是有些硅片表面上有氮化硅粉尘,如果不及时处理,会造成印刷时虚印、断栅和碎片现象;二是如果硅片温度过高,在收片时产生的应力会导致硅片破碎。
发明内容
本实用新型的目的是提供能对硅片进行除尘和降温的一种镀膜机。
本实用新型采取的技术方案是:一种镀膜机,包括工作台,在工作台的一侧设有下料台,下料台上具有出片槽,其特征在于在出片槽的槽口上方设有吹气管,吹气管上具有若干个吹气孔;在下料台的顶部设有若干个散热风机,散热风机与出片槽相连通。
采用本实用新型,一是吹气管可以将硅片表面的氮化硅粉尘去除;二是散热风机可以及时对硅片进行降温,防止收片时硅片破碎。
附图说明
图1是本实用新型的主视示意图。
图2是本实用新型的侧视示意图。
图中序号表示:出片槽1、吹气管2、散热风机3、下料台4、工作台5和吹气孔6。
具体实施方式
下面对本实用新型作进一步说明。
参照图1,该镀膜机包括工作台5,在工作台5的一侧设有下料台4,下料台4上具有出片槽1,在出片槽1的槽口上方设有吹气管2,吹气管2上具有若干个吹气孔6;在下料台4的顶部设有若干个散热风机3,散热风机3与下料台的出片槽1相连通。当硅片从工作台5进入出片槽1时,散热风机3对硅片进行散热,然后由吹气管2通过吹气孔6扫气,去除硅片表面的氮化硅粉尘,从而实现除尘和降温的目的。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造