[实用新型]一种二氯二氢硅和四氯化硅预混合储存装置

说明书

一、技术领域

本实用新型涉及多晶硅生产中一种二氯二氢硅和四氯化硅预混合储存装置。

二、背景技术

目前，我国大多数企业的多晶硅生产工艺为改良西门子法，硅粉与氯化氢制备三氯氢硅生产过程中有副产物二氯二氢硅和四氯化硅生成。四氯化硅可用氢化工艺将其进行处理，转化为三氯氢硅进行利用，但国内四氯化硅氢化工艺尚不成熟，核心技术难以掌握，效率低，能耗高；二氯二氢硅国内现阶段还没有成熟技术对其进行有效利用，而且二氯二氢硅沸点较低，易燃易爆，与空气混合后在很宽的范围内均可以爆炸，爆炸性极强，具有极大的危险性。因此，二氯二氢硅的安全储存和四氯化硅利用成为困扰多晶硅生产企业的难题。

三、发明内容

本实用新型是针对目前困扰多晶硅生产中低沸物二氯二氢硅的安全储存难题，提出了一种多晶硅生产中二氯二氢硅和四氯化硅预混合储存装置，该装置使二氯二氢硅和四氯化硅有效预混合储存，避免了二氯二氢硅的爆炸可能性，并为二氯二氢硅歧化反应器进料，将二氯二氢硅和四氯化硅进行歧化反应转化为原料三氯氢硅。本实用新型采取的技术方案为：一种二氯二氢硅和四氯化硅预混合储存装置，其特征在于管道（4）和管道（5）与混合器（6）相连，混合器（6）通过管道（7）和阀Ⅰ（15）与储罐（2）相连，氮气罐（3）通过管道（8）和阀Ⅱ（14）与储罐（2）相连，管道（9）通过压力自控阀（13）与储罐（2）相连，压力表（10）通过管道（11）和阀Ⅲ（12）与储罐（2）相连，管道（16）通过阀Ⅳ（1）与储罐（2）相连。本实用新型是这样工作的：将低沸物二氯二氢硅和四氯化硅按一定的摩尔比通过管道（4）和管道（5）通入混合器（6）中，二氯二氢硅和四氯化硅在混合器（6）中混合后避免了二氯二氢硅的爆炸可能性，再将二氯二氢硅和四氯化硅的混合物通过管道（7）注入储罐（2），氮气灌（3）中的氮气通过管道（8）和压力自控阀（13）通入储罐（2）内，压力表（10）是监测储罐（2）内的压力，管道（9）和压力自控阀（13）的作用保持储罐（2）内的压力恒定并安全排气，氮气充当安全保护气体，当储罐（2）内压力大于设定值时，压力自控阀（13）自动打开，降低罐内压力直至恢复到设定值，当储罐内部压力低于设定值时，氮气罐（3）自动向储罐（2）内注入氮气，压力提升至设定值，使整个系统中二氯二氢硅和四氯化硅混合后在储罐（2）内时刻保持一定压力和氮气浓度，防止混合物发生爆炸，储罐（2）中的二氯二氢硅和四氯化硅混合物通过管道（16）和阀Ⅳ（1）进入后面的歧化反应工序。本实用新型有效的避免了低沸物二氯二氢硅发生爆炸的可能，为多晶硅生产提供了安全保障，同时整个系统自动化程度较高，节省了人力，提高了操作安全性，为整个多晶硅安全生产提供了保障，具有结构简单，操作方便，降低了物耗。

四、附图说明

图1为本实用新型结构示意图

图中：1、阀Ⅳ  2、储罐  3、氮气罐  4、管道  5、管道   6、混合器  7管道8、管道  9、管道  10、压力表  11、管道  12、阀Ⅲ  13、压力自控阀  14、阀Ⅱ  15、阀Ⅰ  16、管道

五、具体实施方式

    实施例1：一种二氯二氢硅和四氯化硅预混合储存装置，管道（4）和管道（5）与混合器（6）相连，混合器（6）通过管道（7）和阀Ⅰ（15）与储罐（2）相连，氮气罐（3）通过管道（8）和阀Ⅱ（14）与储罐（2）相连，管道（9）通过压力自控阀（13）与储罐（2）相连，压力表（10）通过阀Ⅲ（12）和管道（11）与储罐（2）相连，管道（16）通过阀Ⅳ（1）与储罐（2）相连。