[实用新型]干涉测量装置

权利要求书

1.一种干涉测量装置，其特征在于包括，

用以产生偏振状态相互正交线偏振光的装置，该相互正交线偏振光分别称为参考光和测试光；

相位调制式空间光调制器，设置于参考光或测试光的光路中，用以改变光波前的空间相位分布；该空间光调制器具有复数个像素，每一像素具备特定的相位分布；其中，经所述空间光调制器相位调制后的光称为调制光，未经调制的光称为未调制光；

基于所述调制光和未调制光实现干涉测量的干涉仪；

对干涉仪产生的相干光探测的光探测装置，该光探测装置具备与所述空间光调制器相同的像素分布；且二者像素相对应。

2.根据权利要求1所述的干涉测量装置，其特征在于，所述空间光调制器为反射式液晶空间光调制器。

3.根据权利要求1所述的干涉测量装置，其特征在于，所述产生偏振状态相互正交线偏振光的装置包括共轴设置的线偏振光起偏器和偏振分光棱镜。

4.根据权利要求3所述的干涉测量装置，其特征在于，所述产生偏振状态相互正交线偏振光的装置还进一步包括使偏振分光镜后的正交线偏振光产生相位延迟的结构。

5.根据权利要求3所述的干涉测量装置，其特征在于，液晶空间光调制器至少包括一组2×2分布的像素单元，且所述像素单元中每一像素具有不同的相位。

6.根据权利要求5所述的干涉测量装置，其特征在于，所述每一像素单元中相位分布分别为0、π/2、π和3π/2。

7.根据权利要求1所述的干涉测量装置，其特征在于，所述干涉仪为菲索干涉仪。

8.根据权利要求7所述的干涉测量装置，其特征在在于，还包括相干光源。