[实用新型]蓝宝石晶体生长炉

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种晶体生长炉主要构成机构布局设计结构，属于蓝宝石单晶生长炉领域。

背景技术

蓝宝石是一种简单配位型氧化物晶体。具有优异的光学性能、机械性能和化学稳定性，被广泛的应用于民用航天、半导体衬底、红外军事装置、卫星空间技术、高强度激光的窗口材料等，同时晶体生长设备-单晶生长炉也随之得到了飞速的发展。

通常蓝宝石晶体生长设备从外部构成主要包括炉体机械组成、真空系统、电源柜、控制操作柜及钣金外观件。这几部分是晶体生长炉根据工艺要求必需的结构组成。而且形状外形各不相同，根据各结构的功能，如何合理的安排各组成机构的位置，便于操作者使用，同时获得最经济的占地空间，也是各生产单位一直所追求和探索的。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种晶体生长炉整体机构合理、成本低廉的蓝宝石晶体生长炉。

本实用新型蓝宝石晶体生长炉，包括：机械组成，所述机械组成的底座的外侧为规则的四面；电源柜，所述电源柜与所述机械组成的一侧连接；控制操作柜，所述控制操作柜与所述机械组成的一侧连接；真空获得系统，所述真空获得系统通过真空法兰与所述机械组成连接。

所述机械组成通过螺栓与地面固定。所述机械组成通过钣金骨架与所述电源柜连接。在所述机械组成、所述电源柜、所述真空获得系统及所述控制操作柜的外侧设有钣金件。

本实用新型蓝宝石晶体生长炉通过合理地安排各组成机构的位置，便于操作者使用，同时获得最经济的占地空间，同时在外侧设置的钣金件能对整体的结构进行有效地保护，可以拆卸或打开部分空间，便于开炉装料、取晶体和检修使用，而且，也防止了意外事故的发生几率。

附图说明

图1为本实用新型蓝宝石晶体生长炉结构俯视图；

图2为本实用新型蓝宝石晶体生长炉结构示意图；

本实用新型蓝宝石晶体生长炉附图中附图标记说明：

1-机械组成          2-电源柜          3-钣金骨架

4-真空获得系统      5-控制操作柜      6-钣金件

7-真空法兰

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型蓝宝石晶体生长炉作进一步详细说明。

如图1、图2所示，本实用新型蓝宝石晶体生长炉，包括：机械组成1为整机的核心部分，底部支撑件留有地脚螺栓安装孔(图中未示出)，固定在地面上。机械组成1的两个直边侧面放置电源柜2和控制操作柜5。中间置有钣金骨架3，通过并柜孔，采用螺栓连接紧固。在电源柜2与控制操作柜5的直角间隔区内放置真空获得系统4，与机械组成1连接，通过真空法兰7与O型密封圈，使真空腔体相通。连接部分采用外六角螺栓紧固。在蓝宝石晶体生长炉外侧采用钣金件6包装成一个柜体，根据工艺和使用要求，可以拆卸或打开部分空间，便于开炉装料、取晶体和检修使用。

本实用新型蓝宝石晶体生长炉通过合理地安排各组成机构的位置，便于操作者使用，同时获得最经济的占地空间，同时在外侧设置的钣金件能对整体的结构进行有效地保护，可以拆卸或打开部分空间，便于开炉装料、取晶体和检修使用，而且，也防止了意外事故的发生几率。

以上已对本实用新型创造的较佳实施例进行了具体说明，但本实用新型创造并不限于实施例，熟悉本领域的技术人员在不违背本发明创造精神的前提下还可作出种种的等同的变型或替换，这些等同的变型或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。