[实用新型]坩埚测温仪辅助晶体生长装置有效
| 申请号： | 201120355959.9 | 申请日： | 2011-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN202220222U | 公开（公告）日： | 2012-05-16 |
| 发明（设计）人： | 吕立强 | 申请（专利权）人： | 上海朗兆机电设备有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B29/20 |
| 代理公司： | 上海德昭知识产权代理有限公司 31204 | 代理人： | 缪利明 |
| 地址： | 200235 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 坩埚 测温 辅助 晶体生长 装置 | ||
1.坩埚测温仪辅助晶体生长装置，其特征在于，包括：
炉体，在所述炉体的上端设有上观察窗，在所述炉体的下端设有下观察窗；
温场，所述温场设置在所述炉体内，所述温场的一端与所述炉体的上端壳体连接；
坩埚，所述坩埚设置在所述温场内；
坩埚轴，所述坩埚轴设置在所述炉体内，所述坩埚轴的一端与所述温场连接，所述坩埚轴的另外一端与所述炉体的下端壳体连接；
冷却装置，所述冷却装置设置在所述炉体下端外侧；
测温座，所述测温座设置在所述炉体的外侧。
2.根据权利要求1所述的坩埚测温仪辅助晶体生长装置，其特征在于，所述测温座分为上测温仪座和下测温仪座，所述上测温仪座通过所述上观察窗设置在所述炉体的上端；所述冷却装置通过所述下观察窗设置在所述炉体的下端，所述下测温仪座与所述冷却装置连接。
3.根据权利要求2所述的坩埚测温仪辅助晶体生长装置，其特征在于，所述上测温仪座与所述炉体之间还设有O型密封圈及石英玻璃。
4.根据权利要求2所述的坩埚测温仪辅助晶体生长装置，其特征在于，下测温仪座通过防尘转片与所述冷却装置连接。
5.根据权利要求1所述的坩埚测温仪辅助晶体生长装置，其特征在于，所述坩埚轴为中空轴。
6.根据权利要求1或2所述的坩埚测温仪辅助晶体生长装置，其特征在于，所述测温座内设有内螺纹，所述上测温仪座和所述下测温仪座的内螺纹相同。
7.根据权利要求1所述的坩埚测温仪辅助晶体生长装置，其特征在于，所述冷却装置为水冷套。
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