[实用新型]液氩汽化供给装置

权利要求书

1.液氩汽化供给装置，它包括精氩塔(1)、第一阀门(2)、第二阀门(3)、平衡罐(4)、精氩泵(5)、板式换热器(6)、水浴式蒸发器(7)、液氩泵(8)、第三阀门(9)、液氩罐(11)和第五阀门(12)，

精氩塔(1)的底端连通第一阀门(2)的一端，第一阀门(2)另一端连通平衡罐(4)的中部，平衡罐(4)的底端连通精氩泵(5)的输入端，精氩泵(5)的输出端连通板式换热器(6)的液体氩入口，板式换热器(6)的气态氩出口连通第五阀门(12)，

第一阀门(2)和平衡罐(4)之间的管路与第二阀门(3)的一端相连通，第二阀门(3)的另一端连通液压罐(11)的中间部位，液压罐(11)的底端连通第三阀门(9)的一端，第三阀门(9)的另一端连通液氩泵(8)的输入端，液氩泵(8)的输出端连通水浴式蒸发器(7)的液态氩入口，水浴式蒸发器(7)的气态氩出口与板式换热器(6)和第五阀门(12)中间的管路相连通，

其特征在于：它还包括第四阀门(10)，第四阀门(10)的一端与第三阀门(9)和液压罐(11)之间的管路相连通，第四阀门(10)的另一端与液压罐(11)和第二阀门(3)之间的管路相连通。