[实用新型]防绕射的太阳能电池沉积装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种用于太阳能电池的沉积装置，尤其是薄膜太阳能电池在镀膜过程中防止绕射的沉积装置，属于太阳能电池技术领域。

背景技术

目前，薄膜太阳能电池都采用等离子体增强型化学气相沉积（PECVD）制备，采用射频（RF）辉光放电制备电池的光电转换层。PECVD沉积薄膜太阳能电池时，基片的放置方式通常采用平放和立放两种形式，如专利号：200710176718.6《一种生长硅基薄膜及高效硅基薄膜太阳能电池的PECVD设备》公开的技术是采用平放沉积基片，专利号：201010197749.1《薄膜沉积设备》公开的技术是采用立放基片形式。通常立放基片形式用于单室多片沉积系统，而平放基片形式用于多室单片连续沉积系统。因立放基片形式沉积的基片数量要多于平放基片形式，所以立放式备受青睐。但立放基片形式存在基片如何与电极板表面紧密贴紧的问题，如果基片与电极板未贴紧，沉积气体将通过基片与电极板之间的空隙深入基片，导致辉光放电过程中发生绕射，使基片受光面的周边也沉积了薄膜，且引发了如下问题：一是后续激光无法刻划基片受光面周边的薄膜层；二是减少了电池的有效面积，光线不能穿透此膜层，影响了太阳能电池的电性能；三是严重影响了太阳能电池组件的外观。

立放式基片在电极板的表面支撑固定形式主要由轮子支撑，基片与电极板之间具有一定的间隙，便于取放基片，且基片也不会与电极板接触摩擦，但是基片与电极板不能够紧密接触，导致产生绕射现象，影响沉积后的电池质量。

发明内容

    本实用新型针对现有技术存在的缺陷，解决在太阳能电池沉积过程中如何减少绕射现象和防止基片与电极板摩擦等技术问题，设计一种基片立放沉积时既没有绕射，又不会摩擦基片的PECVD夹具。

本实用新型为解决技术问题而采用的技术方案：设计一种防绕射的太阳能电池沉积装置，包括装有电极板阵列的沉积盒，其特征在于所述电极板阵列中的每块电极板上装有至少两个导轨槽，沉积基片放置在两个导轨槽之间，且基片与电极板之间设有防摩擦护垫，该护垫与沉积基片和电极板的接触面贴紧。

在电极板的两边对称的放置待沉积的基片，该对称的基片分别放置在电极板两头对称安装的导轨槽内。

电极板两头对称安装的导轨槽为弧形单边槽，其边缘处设有放置护垫的平台。

电极板阵列中至少有一个双面放电安装的电极板，且在每个放电面上放置两块待沉积的基片，在所说电极板的端部、中部分别安装导轨槽，待沉积的基片放置在电极板端部和中部配合安装的导轨槽内。

电极板阵列中每个放电面上装有两块或两块以上的基片，电极板的端部和中部分别安装导轨槽，其中端部导轨槽为弧形单边槽，电极板中部导轨槽为“工”字形的双边槽，且可以根据基片的尺寸调节中部导轨槽的安装位置。待沉积的基片立放在导轨槽内，且基片与电极板紧密贴紧。

电极板阵列中电极板每个放电面上装有两块待沉积的基片，基片的两端插在相应的导轨槽内，即基片的一端放置在电极板端部的弧形单边内，基片的另一端放置在电极板中部的工字形双边槽内。

电极板上待沉积的基片为玻璃或柔性基板。

电极板的导轨槽内放置有待沉积的柔性基板，且导轨上设有压紧机构，柔性基板由压紧机构压紧立放在导轨槽内。

电极板的导轨上的压紧机构主要由固定板、转动轴、压簧和定位销构成，所述转动轴和压簧连接导轨槽，且由固定板安装在电极板上，待沉积的柔性基板由压簧压紧在电极板的放电面上。 

电极板的两端均装有导轨槽，且电极板上端的导轨槽是设有压紧机构的“T”形双边槽，其中一边槽内放置有待沉积的基片，另一边槽内安装有压簧，待沉积的基片由压簧压紧在电极板上待沉积的柔性基板由压紧机构压紧与电极板紧密接触。电极板的导轨槽内还设有压紧柔性基板的凸台。

本实用新型的有益效果是设计了一种结构简单的沉积夹具，夹具内设有承托、固定基片的导轨槽，导轨槽采用弧形设计，便于安装基片；而且基片与电极板之间设有护垫，使基片既能贴紧电极板又不会产生摩擦，彻底避免了绕射现象。安装基片的导轨槽设计灵活，可以根据基片的尺寸调整导轨槽的安装位置，实现在同一电极板上安装不同规格的基片，一次沉积不同尺寸的太阳能电池，解决了现有单一腔体只能沉积一种规格太阳能电池的技术难题，同时提高了生产效率。

附图说明

图1：本实用新型的结构示意图。

图2：图1中的A部放大图。

图3：实施例1的结构示意图。

图4：实施例2的结构示意图。

图5：弧形单边槽3截面示意图。