[实用新型]超高纯锗单晶炉坩埚杆有效
| 申请号： | 201120366140.2 | 申请日： | 2011-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN202297857U | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 白尔隽;孙慧斌;赵海歌 | 申请（专利权）人： | 深圳大学 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10;C30B29/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518060 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 高纯 锗单晶炉 坩埚 | ||
【权利要求书】：
1.超高纯锗单晶炉坩埚杆，包括石英坩埚(1)、石英坩埚托(2)以及底部的坩埚杆(3)，其特征在于，所述坩埚杆(3)为高纯石英件，其顶部设坩埚杆顶螺纹(5)，石英坩埚托(2)底部对应设有坩埚托螺纹(4)将石英坩埚托(2)与坩埚杆(3)连接，所述坩埚杆(3)底部连接至炉膛底座。
2.根据权利要求1所述的超高纯锗单晶炉坩埚杆，其特征在于，所述坩埚杆(3)底部连接有顶杆(7)，顶杆(7)下部穿过炉膛底座中心连接至升降和转动装置。
3.根据权利要求1或2所述的超高纯锗单晶炉坩埚杆，其特征在于，所述坩埚杆(3)底部设坩埚杆底螺纹(6)，顶杆(7)顶部对应设有顶杆螺纹(8)将坩埚杆(3)与顶杆(7)连接。
4.根据权利要求3所述的超高纯锗单晶炉坩埚杆，其特征在于，所述顶杆(7)中心通有冷却水。
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