[实用新型]一种用于光掩膜板的抛边设备有效
申请号: | 201120375430.3 | 申请日: | 2011-09-28 |
公开(公告)号: | CN202377887U | 公开(公告)日: | 2012-08-15 |
发明(设计)人: | 姚建明 | 申请(专利权)人: | 上海双明光学科技有限公司 |
主分类号: | B24B9/06 | 分类号: | B24B9/06 |
代理公司: | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人: | 赵志远 |
地址: | 201506 *** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 光掩膜板 设备 | ||
1.一种用于光掩膜板的抛边设备,其特征在于,包括电机、机座、机架、磨轮、靠模机构和支撑结构,所述的机架固定在机座上,所述的靠模机构位于机架的一侧,所述的电机和磨轮固定在机架另一侧的支撑结构上,所述的磨轮设在电机的正下方。
2.根据权利要求1所述的一种用于光掩膜板的抛边设备,其特征在于,所述的靠模机构包括靠模、靠模滑板、靠模滑轨,所述的靠模滑轨安装于机架的一侧,所述的靠模滑板可滑动的水平安装在靠模滑轨上,所述的靠模安装在靠模滑板上。
3.根据权利要求2所述的一种用于光掩膜板的抛边设备,其特征在于,所述的靠模为90°靠模。
4.根据权利要求1所述的一种用于光掩膜板的抛边设备,其特征在于,所述的支撑结构包括滑板和滑轨,所述的滑板与滑轨水平滑动连接,所述的电机和磨轮安装在滑板上。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海双明光学科技有限公司,未经上海双明光学科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201120375430.3/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。