[实用新型]液体存储装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及集成电路制造技术领域，特别涉及一种液体存储装置。

背景技术

在集成电路制造过程中，需要对硅片进行各种清洗，在清洗的过程中会用到各种化学液。例如，在铜互连清洗设备中，一般会用到ST250化学液；在抛光片清洗设备中，一般会用到氨水、双氧水、氢氟酸等化学液。同时，对化学液的纯度要求很高。这些化学液通常通过化学液存储装置输送到设备的各个机台中。

在专利公告号为CN201857044U的专利中介绍了现有化学液存储装置情况，具体参照图1，通常包括：储液罐110、进液管路120、出液管路130、进气管路140，泄压管路150、设置在泄压管路150上的压力释放阀151、真空破坏管路160、以及设置在真空破坏管路160上的真空破坏阀，所述进液管路120、出液管路130以及进气管路140均与所述储液罐110连接。

同时，上述专利的液体存储装置中介绍了一种改进后的液体存储装置200，具体参照图2，包括：储液罐210、进液管路220、出液管路230、进气管路240以及液体保压装置，所述进液管路220、出液管路230以及进气管路240均与储液罐210连接，所述液体保压装置包括溢流管250以及液封槽260，所述液封槽260内存储有液体，所述溢流管250的一端与储液罐210连接，所述溢流管250的另一端伸入到所述液体内。所述液封槽260为开口容器，包括侧壁261以及与侧壁261连接的底壁262。所述液体保压装置包括补液管路270和排液管路280，所述补液管路270和排液管路280均与所述液封槽210的侧壁211连接。所述进液管220路设置有第一阀221，用于控制所述进液管路220的通断；所述出液管路230设置有第二阀231；所述进气管路240上设置有第三阀241。

以上两种装置的主要区别是对储液罐内保护气体在过压和低压时采用的处理方式不一样。图1采用的是压力释放阀和真空破坏阀，但由于压力释放阀和真空破坏阀是机械连锁装置，使用一段时间后易出现机械动作不灵敏的情况，导致存储罐内的压力不稳定，从而损坏存储罐，影响工艺生产的整出进行。图2采用的是溢流管及液封槽，可保持存储罐内的压力恒定，但需要调整溢流管伸入到液封槽内的液体深度，以确保液封槽内的液体不会倒灌到存储罐内，存在一定的风险性。并且，由于液封槽中使用的液体通常为去离子水，水具有长菌的特性，因此需对液封槽中的去离子水进行相关控制，在使用过程中需要考虑这方面的影响。

实用新型内容

(一)要解决的技术问题

本实用新型要解决的技术问题是：如何避免储液罐中的化学液受到破坏，且保证化学液顺利流出。

(二)技术方案

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种液体存储装置，包括：储液罐、进液管路、出液管路及排气管路，所述进液管路、出液管路和排气管路均连接所述储液罐，还包括与所述储液罐连接的紧急进气管路，所述紧急进气管路包括：差压式机械装置及储气罐，所述差压式机械装置一端连接所述储液罐，另一端连接所述储气罐，用于根据所述储气罐和储液罐之间的气压差大小自动连通或关断所述储气罐和储液罐之间的连接。

其中，所述差压式机械装置包括：外壁、密封件、密封隔板以及弹性部件，所述外壁的一端连接所述储液罐，另一端连接所述储气罐，所述密封件固定在外壁内部，所述密封隔板固定在弹性部件的一端，通过和密封件的配合关闭或打开所述储液罐和所述储气罐之间的管路，所述弹性部件的另一端固定在所述外壁上。

其中，所述弹性部件为弹簧。

其中，所述进液管路、排气管路以及紧急排气管路均与储液罐的顶壁连接，所述出液管路与储液罐底壁连接。

其中，所述进液管路设置有第一阀，所述出液管路设置有第二阀，所述排气管路设置有单向阀。

其中，所述液体存储装置还包括：与所述储液罐连接的充气管路。

其中，所述充气管路连接在所述储液罐的顶壁。

其中，所述充气管路设置有第三阀。

其中，所述储液罐的形状为圆桶形、圆锥体、长方体形或圆桶形和圆锥体的组合体。

(三)有益效果

本实用新型通过紧急进气管路的设计来代替液封槽，且紧急进气管路能够给储液罐中快速补充保护性气体，避免了储液罐中的化学液被破坏，还保证了化学液顺利地流出。

附图说明

图1是现有技术中的一种液体存储装置的结构示意图；

图2是现有技术中的另一种液体存储装置的结构示意图；