[实用新型]一种用于西门子法生产多晶硅的还原电极棒有效
申请号: | 201120384046.X | 申请日: | 2011-10-11 |
公开(公告)号: | CN202246088U | 公开(公告)日: | 2012-05-30 |
发明(设计)人: | 邱健源;王勃;黄兰香 | 申请(专利权)人: | 东方电气集团峨嵋半导体材料有限公司 |
主分类号: | C01B33/021 | 分类号: | C01B33/021 |
代理公司: | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人: | 钱成岑;吴彦峰 |
地址: | 614200 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 西门子 生产 多晶 还原 电极 | ||
技术领域
本实用新型涉及西门子法生产多晶硅领域,具体涉及一种用于还原炉的电极棒。
背景技术
现有的西门子法制备多晶硅的电极棒一般使用纯铜,表面不采用任何镀层,随着生产的进行,电极棒表面有铜氧化现象,电极棒表面的导电率下降,导致还原生产中出现拉弧现象,影响生产。拉弧后电极棒发黑,必须使用砂纸打磨电极棒表面,经常打磨会导致电极棒铜壁变薄、直径变小。电极棒铜壁变薄会增大生产中电极棒打穿漏水的概率;直径变小会使其与石墨卡座的接触不良,进而提高生产中拉弧和硅棒倒伏的概率。
实用新型内容
本实用新型的目的是针对现有技术的缺陷,提出一种可防止还原生产用电极棒的接触表面铜氧化的电极棒。
本实用新型的目的通过下述技术方案来实现:一种用于西门子法生产多晶硅的还原电极棒,包括电极棒本体,还包括设于电极棒本体表面的防氧化镀层。
作为优选方式,所述防氧化镀层为银镀层。
本实用新型的有益效果:在电极棒表面镀了一层防氧化镀层后可有效防止表面铜氧化。银可锻、可塑,具有优良的导电、导热性。被抛光的银层具有较强的反光性,银镀层用于防止腐蚀,增加导电率和反光性。电极棒表面镀银后,有效的解决了铜氧化导致的导电性能降低现象,且提高了铜电极的表面导电性能。
附图说明
图1是本实用新型的剖视图;
图中,1为电极棒本体,2为银镀层。
具体实施方式
下面结合具体实施例和附图对本实用新型作进一步的说明。
如图1所示,一种用于西门子法生产多晶硅的还原电极棒,包括电极棒本体1,由纯铜制成,还包括设于电极棒本体1表面的防氧化镀层。如本实施例所示,所述防氧化镀层为银镀层2。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已,并不用以限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
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