[实用新型]半导体有机清洗设备的供水系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种半导体有机清洗设备，尤其涉及一种利用过滤器实现自身超纯水系统循环利用的半导体有机清洗设备。

背景技术

在半导体加工行业中，Spindle Accel半导体清洗机是一种常用的有机清洗设备。而随着节能环保的生产要求日渐深入人心，此类清洗机设备的零排放系统超纯水循环利用便成为该清洗机的重要技术关键之一。由于清洗产品本身的特性，清洗的结果必然导致清洗机自身的过滤器需要经常更换。然而即使是对于相对清洁度较高的半导体产品的清洗，在国外原厂使用基本一个月更换一次过滤器，而在国内使用后，在同等生产条件和产量下过滤器的更换频率提升了数倍，给半导体加工带来了巨大的成本消耗。

如图1所示，是传统Spindle Accel内部超纯水循环管路示意图。从图示可见在传统的超纯水循环利用系统中，需要经过三个过滤器（消电离过滤11、活性炭过滤12、微粒过滤13），然后再经过电阻率测量（Resistivity measurement）后，再进入半导体产品的清洗腔室，清洗后的废水再回收至超纯水储水箱。

发明内容

鉴于上述现有技术存在的缺陷，本实用新型的目的是提出一种半导体有机清洗设备的供水系统。

为实现本实用新型的上述目的，其技术方案为：半导体有机清洗设备的供水系统，其特征在于：所述供水系统的组成包括用于回收清洗废水的加热水箱，与加热水箱排放管相连的清洗泵，以及从清洗泵连至工艺腔的出水管路，其中所述加热水箱中设有与其中贮水直接接触的电磁加热系统，且所述加热水箱中设有测量范围高于60℃的水温采集装置。

优选的，所述电磁加热系统具有自动阶梯式的温度加热单元，所述温度加热单元包括加热器自动切换控制器和两个以上级别的有源电热丝，并且水温采集装置的输出端连至加热器自动切换控制器之中，不同级别的有源电热丝在不同温度区间内为部分连通、全部连通或全部关闭。

优选的，所述电磁加热系统具有防干烧控制单元，且加热水箱设有水位测量装置，且水位测量结果输出至防干烧控制单元，开启或关闭所述电磁加热系统。其中水位测量装置包含加热水箱中的浮球及其信号电路，且所述信号电路中设有延时继电器。

优选的，所述加热水箱排放管连接两台或两台以上的清洗泵，分别连通至两套以上工艺腔。

优选的，该加热水箱排放管与各清洗泵之间设有自动供水切换控制单元。

应用本实用新型的技术方案，可以在满足半导体清洗所用超纯水要求下，省却传统系统的多个过滤器及电阻率测量装置，从而节省了可观的加工成本，大大增加了设备正常运行的时间。

附图说明

图1是传统Spindle Accel内部超纯水循的供水管路循环示意图。

图2是本发明改进后一较佳实施例的供水系统框图。

图3是图2所示实施例中一条供水管路的循环示意图。

图4是本实用新型防干烧控制单元和自动供水切换控制单元的电路图。

图5是本实用新型浮球及其信号电路示意图。

图6是加热器自动切换控制的电路示意图。

具体实施方式

以下便结合实施例附图，对本实用新型改进后的半导体有机清洗设备的供水系统进行说明，目的是为了公众更好地理解本实用新型的技术内容，而不是对该项技术内容的限制。事实上，在本实用新型所述创造精神实质内，进行的任意技术增减或等效替换，都应涵盖在本实用新型所要求保护的技术范围之内。

如图2和图3所示的较佳实施例附图，本实用新型提供的一种半导体有机清洗设备的供水系统，其组成包括用于回收清洗废水的加热水箱（即超纯水储水箱），与加热水箱排放管相连的清洗泵，以及从清洗泵连至工艺腔的出水管路，其中加热水箱中设有与其中贮水直接接触的电磁加热系统，且该加热水箱中设有测量范围高于60℃的水温采集装置，系统框图中未明确图示，以下详细说明该加热水箱中的结构特征：