[实用新型]防治油雾或微粒的引导装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种防治油雾或微粒的引导装置，其提供一种能够集中高速移动所产生的油雾或微粒，并使其无法产生近似压缩的效果，即疏缓活塞效应，而使油雾或微粒无法被压缩而四溢，进而避免污损被加工物的装置。

背景技术

随着科技的进步，各类自动化的机械机台被广泛地应用于工业生产制程中，特别是高科技产业中的半导体制程。

上述的机械机台中设有至少一能够高速移动的取放装置，亦可为移动装置，为了便于论述，以下是以取放装置说明，取放装置以高速驱动与其连接的装置，如吸取机构、机械手臂、机械爪或加工机组。

请参阅图7所示，以晶粒捡选机为例，于一机台3装设有一高速的取放装置30，以快速的将晶粒32自晶圆31中将晶粒32取出并置放于匣盘33上。

为了可使上述的取放装置30正常运作，故会于取放装置30的运动路径或取放装置30内部设有或涂布有润滑液或保养液体，故当高速移动的取放装置30经过润滑液或保养液体时，润滑液或保养液体受到取放装置30的影响，润滑液或保养液体会产生有液体飞溅的情况，如同高速行驶的车辆通过路面的积水，造成积水飞溅，而前述的飞溅的润滑液或保养液体受到工作环境或瞬间溅出的影响，其会进一步转变为油雾或微粒。

上述的取放装置30设置于一狭窄空间或一半密闭空间，所以当取放装置30于其运动路径高速移动时，其会产生一活塞效应(Piston Effect)，活塞效应是指于隧道中高速移动的列车，会带动隧道中的空气产生高速流动，而形同类似汽缸内的活塞压缩气体的现象，反推至上述的机台，移动装置可视同列车，狭窄空间或半密闭空间可视同隧道，油雾或微粒可视同压缩气体与隧道中的空气。

承上所述，高速移动的取放装置30带动油雾或微粒，以使其流动，并于运动路径的末端集中，该末端为活塞效应最明显处，并产生一近似压缩的效果，集中的油雾或微粒会被挤压而四溢，进而污染被加工物，若被加工物为晶圆31或高科技产品，其于制程中遭到污染，则有可能造成被加工物产生污损。

若以上述的晶粒捡选机为例，取放装置30的油污的飞溅将会造成位于取放装置30下方的晶粒32受到油雾污染，造成后续制程的良率不佳，进而影响晶粒32捡选的品质。

现有的防治方式，其于移动路径的适当位置处设有防尘遮板，然而防尘遮板仅能阻挡少部份的油雾或微粒，大部分的油雾或微粒仍会污损被加工物，故现有的防治方法或结构仍有尚待改善的空间。

发明内容

有鉴于上述的缺点，本实用新型的目的在于提供一种防治油雾或微粒的引导装置，其是将一延伸部设于高速移动的移动单元的移动路径，以集中移动中所产生的油雾或微粒，并能使其无法产生近似压缩的效果，故使油雾或微粒不会被挤压而四溢，进而避免其污损被加工物。

为了达到上述的目的，本实用新型的技术手段在于提供一种防治油雾或微粒的引导装置，应用于一机台，该机台具有一移动单元，该移动单元具有一移动路径，该引导装置包括有：一延伸部，其设于该移动路径上。

所述的防治油雾或微粒的引导装置，其中，该延伸部位于该移动路径的一端。

所述的防治油雾或微粒的引导装置，其中，该延伸部位于该移动路径的一侧。

所述的防治油雾或微粒的引导装置，其中，该延伸部为多个导孔。

所述的防治油雾或微粒的引导装置，其中，各导孔连接一管体的一端，该管体的另一端连接有一抽气装置。

所述的防治油雾或微粒的引导装置，其中，该移动路径连接有一导管，该导管相通该导孔，该导管连接一管体的一端，该管体的另一端连接有一抽气装置。

所述的防治油雾或微粒的引导装置，其中，该机台为一晶粒捡选机。

如上所述的本实用新型的防治油雾或微粒的引导装置，其是凭借延伸部，而将移动单元所产生的活塞效应的可能压缩空间予以扩大，即将活塞效应最明显处于以舒缓，进而使得高速移动产生的油雾或微粒仅能集中延伸部，而无法于延伸部中产生近似压缩的效果，如此油雾或微粒就无法被挤压而四溢，故使被加工物的品质得以确保。

附图说明

图1为本实用新型的防治油雾或微粒的引导装置的第一实施例的另一角度的立体示意图；

图2为本实用新型的防治油雾或微粒的引导装置的第一实施例的立体示意图；

图3为本实用新型的防治油雾或微粒的引导装置的第二实施例的立体示意图；

图4为本实用新型的防治油雾或微粒的引导装置的第三实施例的立体示意图；

图5为本实用新型的防治油雾或微粒的引导装置的第四实施例的立体示意图；