[实用新型]泡生法蓝宝石晶体生长炉水冷电极

说明书

技术领域

本实用新型涉及熔体籽晶法单晶生长炉设备，尤其涉及一种泡生法蓝宝石晶体生长炉水冷电极。 

背景技术

LED产业的迅猛发展促进蓝宝石衬底晶体的需求，相应带动了泡生法蓝宝石晶体生长炉的发展。目前很多企业应用的泡生法晶体炉都是以俄罗斯泡生炉为蓝本，其加热体钨丝预制成桶形鸟笼状结构，钨丝两端通过上部两个对合安装的中空水冷半环电极分别连接电源正负极，通电后形成泡生炉热场，这种电极结构的鸟笼状钨丝加热体排布方式，不仅制作麻烦，而且局部损坏导致整体报废，尤其是下部热场存在热节和冷节，形不成晶体生长所要求的绝对轴对称的温度场。 

实用新型内容

为了克服现有泡生法蓝宝石晶体生长炉技术的不足，本实用新型提供一种由空芯的环状导电体以及空芯导电管柱共同构成水冷电极，其中两个直立式空芯导电管柱分别用于进水和出水，两个独立的电极分别与直流电源的正极和负极连接，形成两个配对的水冷电极，加热钨丝经空间排列后两头分别安装于上下两个空芯水冷电极的环上，通电后形成绝对轴对称的温度场分布。 

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种泡生法蓝宝石晶体生长炉水冷电极，所述由两个空芯的环状导电体以及空芯导电管柱共同构成水冷电极，且两个水冷电极在高度方向上下固定。 

作为本实用新型的进一步改进，所述空芯的环状导电体结构相同，大小相同或不同，且截面形状可以是矩形或者圆形。 

作为本实用新型的进一步改进，所述环状导电体的空芯部分和导电管柱的空芯部分相通且可以通水。 

作为本实用新型的进一步改进，所述空芯导电管柱其高度可以相同，也可以不同。

作为本实用新型的进一步改进，所述环状导电体和导电管柱的材质是铜合金。 

本实用新型产生的有益效果是，制作简单，不易损坏，水冷电极及附属加热钨丝具有安装更换方便，成本低的特点；尤其是通过加热钨丝的合理布局，可以形成完全轴对称的温度场分布，营造非常有利的晶体生长条件。 

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。 

图1是本实用新型实施例的结构图。 

图2是本实用新型水冷电极的截面图。 

附图标记说明：1.水冷电极圆环，2.空心导电管柱， 

具体实施方式

在图1、图2实施例中，一种泡生法蓝宝石晶体生长炉水冷电极，将导电率高的金属制成两个空芯的水冷电极圆环(1)，并在每个环上焊接两对同样材质的空心导电管柱(2)，用于连接电源和冷却水进出，即形成水冷电极。水冷电极圆环(1)内表面设置有安装钨丝发热体的螺纹孔，钨丝发热体两端通过螺纹孔分别连接于上下两个水冷电极圆环(1)内表面构成通电回路。