[实用新型]一种基于光偏转技术的激光超声检测系统

权利要求书

1.一种基于光偏转技术的激光超声检测系统，其特征是它由光源、光学系统、扫描系统、聚焦系统、接收系统组成；两光源对向光学系统，内部有聚焦系统的扫描系统对向光学系统，接收系统置于光学系统的光路之中；

所述光源采用脉冲激光器(1)；

所述光学系统主要包括反射镜(7)、分光镜(2)、直角棱镜(4)；

所述扫描系统主要包括纵向控制电机(18)、横向控制电机(19)、电机控制卡(16)、控制软件、内部还有聚焦系统；

所述聚焦系统主要包括柱状透镜(5)、移动平台(6)；

所述接收系统主要包括连续激光器(15)、反射镜(7)、反射镜II(9)、反射镜III(10)、反射镜IV(13)、直角透镜II(8)、光点平衡接收器(11)。

2.根据权利要求1所述的一种基于光偏转技术的激光超声检测系统，其特征是具体由脉冲激光器(1)、分光镜(2)、光电二极管(3)、直角透镜I(4)、柱状透镜(5)、移动平台(6)、反射镜I(7)、直角透镜II(8)、反射镜II(9)、反射镜III(10)、平衡接收器(11)、样品(12)、反射镜IV(13)、连续激光器(14)、示波器(15)、电机控制卡(16)、计算机(17)、纵向控制电机(18)、横向控制电机(19)、横向移动滑块(20)、横向丝杆(21)、纵向丝杆(22)和纵向移动滑块(23)组成；

脉冲激光器(1)发出的光束经分光镜(2)后，一部分光进入光电二极管(3)，并接示波器(15)，另一部分激光进入经直角棱镜(4)和柱状透镜(5)折射到样品(12)上；连续激光器(14)发出的光对准反射镜IV(13)，反射镜IV(13)将光反射到样品(12)；样品(12)反射的光由反射镜I(7)反射到直角透镜II(8)后分两路，一路由反射镜II(9)反射到平衡接收器(11)，另一路由反射镜III(10)反射到平衡接收器(11)；置于脉冲激光器(1)光射处的光电二极管(3)的输出也接示波器(15)；横向控制电机(19)的轴与横向丝杆(21)连接，横向移动滑块(20)与横向丝杆(21)配合连接；纵向丝杆(22)与纵向控制电机(18)连接，与纵向丝杆(22)配合连接的纵向移动滑块(23)与安装直角透镜I(4)和柱状透镜(5)的移动平台(6)连接；纵向控制电机(18)和横向控制电机(19)输入电源接自电机控制卡(16)，而电机控制卡(16)接计算机(17)的输出。

3.根据权利要求1或2所述的一种基于光偏转技术的激光超声检测系统，其特征是所述平衡接收器(11)包括光电转换和电信号放大器，能将光信号的变化转换为电信号的变化，并进行电信号的放大。

4.根据权利要求2所述的一种基于光偏转技术的激光超声检测系统，其特征是所述脉冲激光器(1)的激光器功率在千瓦以上，单个脉冲能量几百毫焦耳，重复频率几十Hz以上，脉宽十几ns、光斑直径几个毫米。

5.根据权利要求2所述的一种基于光偏转技术的激光超声检测系统，其特征是所述移动平台(6)是一与纵向移动滑块(23)固连的平台，纵向移动滑块(23)与纵向丝杆(22)配合，而纵向丝杆(22)固定在横向移动滑块(20)上，横向移动滑块(20)与横向丝杆(21)配合。