[实用新型]氧化锌薄膜沉积设备

权利要求书

1.一种氧化锌薄膜沉积设备，包含：沉积腔（21），在所述沉积腔（21）内设置的喷淋头（22）和基板支承座（23）；所述喷淋头（22）设置在所述沉积腔（21）的顶部，并与所述沉积腔（21）的顶板之间形成有气体混合区（25）；所述基板支承座（23）设置在所述沉积腔（21）的底部，其包含加热单元，所述加热单元用于将基板（24）的温度加热到大于160°C小于等于200°C；所述基板支承座（23）与所述喷淋头（22）之间形成反应区（26），所述基板支承座（23）与所述喷淋头（22）面向所述基板支承座（23）的底面之间的距离大于等于80mm小于等于110mm；节流阀，用于控制流入所述气体混合区（25）的反应气体流量大于等于4200sccm小于等于7000sccm；排气装置，用于从所述反应区（26）抽出气体，以控制所述反应区（26）的气压大于等于0.3mbar小于等于0.8mbar；

其特征在于，所述喷淋头上设置有若干气体分配孔（221），所述若干气体分配孔（221）使得所述气体混合区（25）的气压大于等于0.9mbar小于等于1.3mbar。

2.如权利要求1所述氧化锌薄膜沉积设备，其特征在于，所述气体分配孔（221）的数量为大于等于1600个小于等于2200个，每一个气体分配孔（221）孔径最小部分的孔径大于等于1.0mm小于等于2.0mm。

3.如权利要求1或2所述氧化锌薄膜沉积设备，其特征在于，所述气体分配孔（221）包含：从喷淋头（22）背离所述基板支承座（23）的顶面向下延伸一定距离形成的上端孔（222）；从喷淋头（22）面向所述基板支承座（23）的底面向上延伸一定距离形成的下端孔（223），以及，所述上端孔（222）和下端孔（223）之间过渡连接的斜面（224）；其中所述上端孔（222）的孔径（D1）大于所述下端孔（223）的孔径（D2）。

4.如权利要求3所述氧化锌薄膜沉积设备，其特征在于，所述下端孔（223）的宽高比为大于等于1/4小于等于2/3。

5.如权利要求3所述氧化锌薄膜沉积设备，其特征在于，所述上端孔（222）的孔径（D1）为大于等于1.5mm小于等于4mm。

6.如权利要求3所述氧化锌薄膜沉积设备，其特征在于，所述气体分配孔（221）中斜面（224）的母线相对所述喷淋头（22）底面的夹角（a）大于等于35度小于等于65度。

7.如权利要求1所述氧化锌薄膜沉积设备，其特征在于，所述基板支承座（23）与所述喷淋头（22）面向所述基板支承座（23）的底面之间的距离大于等于90mm小于等于100mm。

8.如权利要求7所述氧化锌薄膜沉积设备，其特征在于，所述基板支承座（23）与所述喷淋头（22）面向所述基板支承座（23）的底面之间的距离为96mm。

9.如权利要求1所述氧化锌薄膜沉积设备，其特征在于，所述喷淋头（22）包含一个冷却装置，所述冷却装置使得该喷淋头（22）的温度低于60°C。

10.如权利要求1所述氧化锌薄膜沉积设备，其特征在于，所述加热单元用于将基板（24）的温度加热到大于175°C小于等于185°C。