[实用新型]超薄体片状低温等离子体发生器

权利要求书

1.一种超薄体片状低温等离子体发生器，包括负极板(1)、正极放电薄片(2)、绝缘块固定板(5)，其特征在于：所述正极放电薄片(2)之间等距离平行排布，每个负极板(1)等距离固定于负极板固定架(3)的卡槽内，上下负极板固定架(3)之间安装绝缘块固定板(5)，所述绝缘块固定板(5)里侧固定连接陶瓷绝缘块(6)，由四个负极板固定架(3)、两侧的绝缘块固定板(5)以及若干等距离垂直设置的负极板(1)组成放电腔体结构。

2.根据权利要求1所述的超薄体片状低温等离子体发生器，其特征在于：每两个陶瓷绝缘块(6)之间安装有正极放电薄片固定架(4)。

3.根据权利要求1所述的超薄体片状低温等离子体发生器，其特征在于：所述正极板放电薄片(2)两端固定于正极放电薄片固定架(4)上并通过陶瓷绝缘块(6)隔离正负极。

4.根据权利要求1所述的超薄体片状低温等离子体发生器，其特征在于：其中的正极板放电薄片(2)厚度为0.01mm-0.3mm。

5.根据权利要求1所述的超薄体片状低温等离子体发生器，其特征在于：正极板放电薄片(2)与正极板放电薄片之间的距离为4mm-45mm。

6.根据权利要求1所述的超薄体片状低温等离子体发生器，其特征在于：正极板放电薄片(2)的宽度为1mm-20mm。

7.根据权利要求1所述的超薄体片状低温等离子体发生器，其特征在于：负极板(1)之间的空隙宽度为4mm-32mm。