[实用新型]用于处理含有四氯化硅的溶液的设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及多晶硅生产领域，具体地，涉及用于处理含有四氯化硅的溶液的设备。

背景技术

在多晶硅生产过程中，会产生大量四氯化硅副产物。例如，采用三氯氢硅氢还原工艺(改良西门子工艺)生产多晶硅时，每生产1吨多晶硅会产生15吨四氯化硅副产物。目前，处理四氯化硅的常规方法是采用冷氢化技术将四氯化硅转化为生产多晶硅的原料三氯氢硅，从而将四氯化硅循环利用。然而，在此处理工艺中，10-20％的四氯化硅由于含有大量固体粉尘(如硅粉)和金属杂质(如铝、铁、镍等)而成为四氯化硅残液，无法重新回到多晶硅生产系统中循环利用。目前，四氯化硅残液无法得到有效处理，导致多晶硅生产成本较高，能耗较高。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决上述技术问题之一。为此，本实用新型的一个目的在于提出能够有效地处理含有四氯化硅的溶液的设备。

根据本实用新型的一个方面，提供了一种用于处理含有四氯化硅的溶液的设备，包括：蒸发装置，用于将所述溶液中的四氯化硅转变为四氯化硅蒸汽并得到废液；除尘装置，所述除尘装置与所述蒸发装置相连以便从所述蒸发装置接收所述四氯化硅蒸汽，并除去所述四氯化硅蒸汽中的粉尘，以获得经过净化的四氯化硅蒸汽；冷凝装置，所述冷凝装置与所述除尘装置相连以便从所述除尘装置接收经过净化的四氯化硅蒸汽，并将所述经过净化的四氯化硅蒸汽冷凝，以得到经过净化的四氯化硅液体。根据本实用新型实施例的用于处理含有四氯化硅的溶液的设备，结构简单，操作方便，能耗低，成本低，可以有效地纯化四氯化硅，并且可以避免粉尘堵塞管道，从而保证管道和设备的正常运行。

另外，根据本实用新型的实施例，所述用于处理含有四氯化硅的溶液的设备还可以具有如下附加的技术特征。

根据本实用新型的一个实施例，所述含有四氯化硅的溶液为制备多晶硅过程中产生的含有四氯化硅的残液。

根据本实用新型的一个实施例，所述蒸发装置内的温度为70-90摄氏度，压力为50-160kPa。由此，可以在低温和低压下将四氯化硅液体转变为四氯化硅蒸汽，能耗低，成本低。

根据本实用新型的一个实施例，所述冷凝装置中的温度为30-40摄氏度。由此，可以在低温下将四氯化硅蒸汽转变为四氯化硅液体，能耗低，并且可以进一步提高四氯化硅的纯度。

根据本实用新型的一个实施例，所述用于处理含有四氯化硅的溶液的设备，进一步包括固液分离装置，所述固液分离装置与所述蒸发装置相连以便从所述蒸发装置接收所述废液，并且对所述废液进行固液分离以得到固相混合物和液相混合物。

根据本实用新型的一个实施例，所述用于处理含有四氯化硅的溶液的设备进一步包括干燥装置，所述干燥装置与所述固液分离装置相连，以便从所述固液分离装置接收固相混合物，并对所述固相混合物进行干燥以得到经过干燥的固相混合物。

根据本实用新型的一个实施例，所述用于处理含有四氯化硅的溶液的设备进一步包括存渣装置，所述存渣装置与所述干燥装置相连，以便从所述干燥装置接收并存储所述经过干燥的固相混合物。

根据本实用新型的一个实施例，所述用于处理含有四氯化硅的溶液的设备进一步包括液相混合物返回管路，所述液相混合物返回管路分别与所述蒸发装置和所述固液分离装置相连，以便将所述液相混合物返回至所述蒸发装置。由此，可以有效地回收四氯化硅，降低生产成本。

根据本实用新型的一个实施例，所述用于处理含有四氯化硅的溶液的设备进一步包括四氯化硅存储装置，所述四氯化硅存储装置与所述冷凝装置相连，以便从所述冷凝装置接收并存储经过净化的四氯化硅液体。

根据本实用新型的一个实施例，所述用于处理含有四氯化硅的溶液的设备进一步包括三氯氢硅制备装置，所述三氯氢硅制备装置与所述四氯化硅存储装置相连，以便从所述四氯化硅存储装置接收经过净化的四氯化硅液体，并将所述经过净化的四氯化硅液体用于生产三氯氢硅。由此，可以循环利用四氯化硅，降低生产成本。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是根据本实用新型实施例的用于处理含有四氯化硅的溶液的设备的示意图；

图2是根据本实用新型另一实施例的用于处理含有四氯化硅的溶液的设备的示意图；

图3是根据本实用新型又一实施例的用于处理含有四氯化硅的溶液的设备的示意图；