[实用新型]具有复合气路的气相沉积炉

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种具有复合气路的气相沉积炉。

背景技术

以前沉积电炉中单一的气路设计常使炉内各点气体不均匀，导致沉积效果不理想。

而且，传统CVD化学气相沉积炉气体气路采用“下进上出”或者“前进后出”方式，进气方式单一，工件沉积的效果不理想，沉积时间长，大型厚壁工件内外沉积密度不一致，达不到预定的要求。

因此，有必要对现有的气相沉积炉的气路结构进行改进。

实用新型内容

本实用新型要解决技术问题是提供一种具有复合气路的气相沉积炉，该具有复合气路的气相沉积炉采用多点气路设计，沉积效果好。

本实用新型为解决上述技术问题所采用的技术方案是：

一种具有复合气路的气相沉积炉，包括炉体、抽气管和进气点，炉体内腔为气相沉积室，抽气管和进气点均与气相沉积室连通；所述的抽气管和进气点均为多个；抽气管设置在炉体的上侧或下侧或上下侧均设置，进气点设置在抽气缸的相对侧：

即抽气管在下侧时，进气点在上侧；抽气管在上侧时，进气点在下侧；或者炉体的上侧和下侧均设有多个抽气管和进气点。

抽气管的数量与进气点的数量相同。

抽气管和进气点均与阀门相接。

炉体的上侧和下侧均设有多个抽气管和进气点，上侧的抽气管汇总后形成上抽气管，下侧的抽气管汇总后形成下抽气管，上抽气管、下抽气管与具有复合气路的气相沉积炉的主抽气管通过三通转换阀门连接。

有益效果：

本实用新型的具有复合气路的气相沉积炉，采用多点气路设计(或称复合气路设计)，使得气流在炉体沉积室中更均匀分布，从而沉积效果更好。

另外，采用上下侧都设有抽气管和进气点的设计，并结合三通切换阀门，可以实现多种沉积工艺的自动控制，自动化程度高，沉积效果更为理想。实际应用中，采用本实用新型的具有复合气路的气相沉积炉，在沉积速度、沉积均匀性、内外沉积密度等指标上有明显提高。

附图说明

图1为实施例1的具有复合气路的气相沉积炉的结构示意图；

标号说明：1-上进气管，2-下排气管，3-保温层，4-炉体，5-物料，6-物料放置板，7-下进气管，8-三通切换阀门。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明。

实施例1：

如图1所示，一种具有复合气路的气相沉积炉，包括炉体、抽气管和进气点，炉体内腔为气相沉积室，抽气管和进气点均与气相沉积室连通；所述的抽气管和进气点均为4个；炉体的上侧和下侧均设有4个抽气管和进气点。进气点均与阀门相接。上侧的抽气管汇总后形成上抽气管，下侧的抽气管汇总后形成下抽气管，上抽气管、下抽气管与具有复合气路的气相沉积炉的主抽气管通过三通转换阀门连接。

本实施例的核心思想为：在炉体顶部和底部均设置等量进气口和抽气口，通过主抽气管上三通转换阀门，选择上抽气方式或下抽气方式。当采用上抽气管抽气时，气体从下进气点进入炉膛沉积室(即炉体沉积室)；当采用下抽气管抽气时，气体从上进气点进入炉膛沉积室。通过调节进气、排气方式在同一工序上实现“下进气、上抽气”，“上进气、下抽气”“内进气、外抽气”，“外进气、内抽气”等复合气路工艺。

其工作原理为：炉体上设置有多路进气，并能分别实现上下进气(进气方式由阀门控制)，气体从气源经由上/下多个进气点进入炉体，从而实现多点进气的目的。

本实用新型还可以有很多变形形式如下：

实施例2：抽气管设置在炉体的上侧或下侧或上下侧均设置，进气点设置在抽气缸的相对侧：即抽气管在下侧时，进气点在上侧；抽气管在上侧时，进气点在下侧。抽气管和进气点均与阀门相接。

实施例3：通实施例1，不同之处在于上抽气管和下抽气管分别用单路的阀门控制，而不采用三通切换阀门。