[实用新型]摄像机防震基座及机台摄像装置

说明书

【技术领域】

本实用新型涉及半导体机台，尤其是涉及一种用于监控半导体机台作业的机台摄像装置以及一种摄像机防震基座。

【背景技术】

半导体机台是一种半导体制造设备，在一些比较重要的部分，半导体机台包括摄像机，用于监控机台作业。

由于某些机台作业会产生震动，长时间震动会影响摄像机的稳定性和可靠性，从而影响摄像机的使用寿命。

【实用新型内容】

基于此，有必要提供一种能够减小机台摄像机震动的摄像机防震基座。

一种摄像机防震基座，包括底座和设于所述底座上用于固定摄像机的固定面板，所述固定面板与底座之间通过缓冲组件固定连接。

优选地，所述缓冲组件包括固定连接所述底座和固定面板的螺钉和套设于所述螺钉上且两端分别与底座和固定面板抵接的弹簧。

优选地，所述固定面板为与枪式摄像机底座相适配的方形，所述螺钉分布于固定面板的四角。

优选地，所述固定面板上设有用于连接摄像机的固定孔。

一种机台摄像装置，包括底座、设于所述底座上的固定面板、与所述固定面板固定连接的摄像机以及罩设于所述底座上的外罩，所述固定面板和摄像机均设于所述外罩内，所述固定面板与底座之间通过缓冲组件固定连接。

优选地，所述缓冲组件包括固定连接所述底座和固定面板的螺钉和套设于所述螺钉上且两端分别与底座和固定面板抵接的弹簧。

优选地，所述固定面板为与枪式摄像机底座相适配的方形，所述螺钉分布于固定面板的四角。

优选地，所述固定面板上设有固定孔，所述摄像机通过固定孔与所述固定面板固定连接。

上述摄像机防震基座和机台摄像装置，通过缓冲组件连接固定面板和底座，当底座因机台的作业震动时，缓冲组件将震动缓冲后传到固定面板，与固定面板固定连接的摄像机受到的震动将会大大减小，从而对摄像机的影响较小，可延长摄像机的使用寿命。

【附图说明】

图1为一实施例的摄像机防震基座的侧视图；

图2为图1所示实施例的摄像机防震基座的俯视图；

图3为一实施例的机台摄像装置结构示意图。

【具体实施方式】

针对安装于机台上的摄像机容易因为机台作业震动而减少使用寿命的问题，提供一种摄像机防震基座。如图1和图2所示，一实施例的摄像机防震基座包括底座110和设于底座110上用于固定摄像机的固定面板120，固定面板120与底座110之间通过缓冲组件130固定连接。当底座110因机台的作业震动时，缓冲组件130将震动缓冲后传到固定面板120，与固定面板120固定连接的摄像机受到的震动将会大大减小，从而对摄像机的影响较小，可延长摄像机的使用寿命。

固定面板120上设有用于连接摄像机的固定孔121。固定面板120优选为方形，可与枪式摄像机底座相适配。摄像机通过固定孔121与固定面板120连接。

本实施例中，缓冲组件130优选包括固定连接底座110和固定面板120的螺钉131和套设于螺钉131上且两端分别与底座110和固定面板120抵接的弹簧132。机台的震动通过弹簧132的缓冲之后，到达固定面板120的震动将会减少。其他实施例中，缓冲组件130还可采用其他形式，例如缓冲垫等。

如图3所示，一实施例的机台摄像装置包括底座210、设于底座210上的固定面板220、与固定面板220固定连接的摄像机230以及罩设于底座210上的外罩240。固定面板220和摄像机230均设于外罩240内。固定面板220与底座210之间通过缓冲组件250固定连接。

固定面板220上设有用于连接摄像机的固定孔(图未示)。固定面板220优选为方形，可与枪式摄像机底座相适配。摄像机230通过固定孔与固定面板220连接。

本实施例中，缓冲组件250优选包括固定连接底座210和固定面板220的螺钉251和套设于螺钉251上且两端分别与底座110和固定面板120抵接的弹簧252。机台的震动通过弹簧252的缓冲之后，到达固定面板220的震动将会减少。其他实施例中，缓冲组件250还可采用其他形式，例如缓冲垫等。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。